[發(fā)明專利]用于蝕刻腔室部件的填充聚合物組成

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310432769.6
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN103497457A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 詹尼弗·Y·孫;段仁官;賽恩·撒奇;徐理
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: C08L27/12
• 分類號: C08L27/12;C08L79/08;C08L71/10;C08L83/04;C08L33/00;C08K3/22;C08K3/16;C08K3/28;C08K3/34
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

關(guān)聯(lián)申請

本專利申請涉及于2009年12月7日遞交的美國專利申請?zhí)?2/632,712，并要求其優(yōu)先權(quán)，該美國專利申請要求于2008年12月10日遞交的美國臨時專利申請?zhí)?1/121,490的優(yōu)先權(quán)。本申請是2011年6月10日提交的題為“用于蝕刻腔室部件的填充聚合物組成”且申請?zhí)枮?009801498806的專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實施例涉及填充聚合物材料的領(lǐng)域。明確地說，本發(fā)明的實施例涉及用于蝕刻腔室部件的填充聚合物組成。

背景技術(shù)

用于蝕刻腔室部件的聚合物材料于基板蝕刻及腔室清潔制程期間在蝕刻腔室內(nèi)暴露于等離子體。例如，形成于腔室部件上的等離子體蝕刻殘余物及副產(chǎn)物可造成長期的問題，且因此須周期性地清潔蝕刻腔室以防止制程產(chǎn)生偏差及產(chǎn)生粒子。因此，聚合物材料自身成為粒子添加劑（particleadder）來源且因為聚合物材料由多種蝕刻及清潔等離子體腐蝕亦必須周期性替換。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例揭露種填充聚合物組成，包括粒子填充物，其分散于聚合物基質(zhì)中。該粒子填充物可為五氧化二鈮（Nb₂O₃）、三氟化釔（YF₃）、氮化鋁（AlN）、鋁（Al）、碳化硅（SiC）、四氮化三硅（Si₃N₄）、稀土族元素氧化物（rare?earth?oxide）及其組合?？稍谌魏伪┞吨恋入x子體的腔室中或工作環(huán)境中使用填充聚合物組成以延長工作壽命、改良應(yīng)用溫度、增進制程均勻度、減少粒子形成量、及減少金屬污染。在實施例中，利用填充聚合物組成作為用于靜電夾頭的接合粘合劑，用于噴頭的接合粘合劑，用于襯墊的接合粘合劑、密封材料、O形環(huán)、或塑料部件。

附圖說明

圖1A及圖1B為蝕刻腔室的等角視圖。

圖1C包括俯視圖及噴頭后側(cè)及O形環(huán)的特寫等角視圖。

圖1D為靜電夾頭后側(cè)的俯視圖。

圖2A-圖2B示出暴露至CH₄/CHF₃等離子體5RF小時的粘合劑的腐蝕表面的表面型態(tài)。

圖3A-圖3B示出暴露至HBr/Cl₂/CF₄/O₂等離子體6.5RF小時的粘合劑的腐蝕表面的表面型態(tài)。

圖4A-圖4B示出暴露至SiC₄等離子體12RF小時的粘合劑的腐蝕表面的表面型態(tài)。

具體實施方式

本發(fā)明的實施例揭示了填充聚合物組成及填充聚合物于等離子體腔室部件中的應(yīng)用。

于本文中參照圖示描述各種實施例。為了提供對本發(fā)明的通盤了解，許多特定細節(jié)（例如特定配置、組成及制程等）將在隨后描述中闡述。然而，有些實施例可在不具或多個該等細節(jié)下實施，或結(jié)合其它習(xí)知方法及配置來實施。在其它例子中，為了不必要的混淆本發(fā)明，習(xí)知制程及制造技術(shù)并未特別詳細描述。參考本發(fā)明書中通篇的（一個(one)實施例）或（(an)實施例）表示涉及該實施例的特定特征結(jié)構(gòu)、配置、組成、或特征包含在本發(fā)明的至少一個實施例中。因此，在通篇本發(fā)明書中各處出現(xiàn)的詞句（在一個實施例中）或（實施例）并非必須參照本發(fā)明的相同實施例。另外，特定特征結(jié)構(gòu)、配置、組成、或特征可以任何適當(dāng)方式結(jié)合于一個或多個實施例中。

本發(fā)明實施例揭露填充聚合物組成，其包括分散于聚合物基質(zhì)中的粒子填充料。在實施例中，粒子填充料具有10nm－10μm的平均粒徑，且可為稀土族元素氧化物、Nb₂O₅、YF₃、AlN、SiC、Si₃N₄及其組合。在另一實施例中，粒子填充料可為例如具有相同平均粒徑的鋁粉末的金屬。粒子填充料可緊密地與聚合物基質(zhì)結(jié)合以提供具改良質(zhì)量的組成，該組成包括極佳的抗等離子體性、材料結(jié)構(gòu)穩(wěn)定度（低排氣）、高溫應(yīng)用、改良的熱性質(zhì)（熱傳導(dǎo)度及熱膨脹）、改進的機械性質(zhì)（伸長度、彈性模數(shù)、迭繞共享（lap?share）、拉伸強度）且大大減少的粒子產(chǎn)生的可能性?？稍谌魏伪┞吨粮鞣N等離子體的腔室中或工作環(huán)境中使用填充聚合物組成，以延長工作壽命、改良應(yīng)用溫度、增進制程均勻度、減少粒子形成量、及減少金屬污染。在實施例中，利用填充聚合物組成作為用于靜電夾頭的接合粘合劑，用于噴頭的接合粘合劑，用于襯墊的接合粘合劑、密封材料、O形環(huán)或塑料部件。