[發(fā)明專利]壓力容器及其構成氣密壓力環(huán)境的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310428870.4
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN104455408A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設計）人: 李俊賢
• 申請（專利權）人: 李俊賢
• 主分類號: F16J12/00
• 分類號: F16J12/00
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 黃超;周春發(fā)

技術領域

本發(fā)明有關一種用以產生氣密壓力環(huán)境的技術，旨在提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器，以及使用該壓力容器構成氣密壓力環(huán)境的方法。

背景技術

在既有現有的加工技術領域當中，經常會透過改變加工環(huán)境壓力差的方式達到預期的加工效果；例如，在現有的半導體晶片封裝過程中，必須先從晶圓切割出適當大小的晶片，再將其黏附于一載板上(載板可為一基板或可為一導線架等各種可以承載晶片用以聯外部電子訊號用的承載物)。在黏附的過程中，膠著材料中會產生許多氣泡，造成老化后的膠著材料中會有空腔而影響產品的可靠性、質量。

因此，在黏附的過程中多會進一步施以高壓與高溫于膠著材料之上，主要利用高溫使膠著材料的黏度降低，以及利用高壓使于膠著材料中已存在的氣泡因壓力差而排除于膠著材料之外、或因壓力差而使膠著材料中的氣泡縮小，進而有效提升產品的質量及可靠性。以及，就處理硅晶圓等的ULSI半導體制程而言，有在半導體基板上形成具備接觸孔的絕緣氧化膜，并于此膜面上形成鋁合金膜，然后藉由氬氣等的惰性氣體來作成高溫、氣密壓力環(huán)境，且將鋁合金膜埋入接觸孔內最深部的所謂的高壓回流制程。

類似的氣密壓力環(huán)境主要被限制在一壓力容器當中，該壓力容器基本上由一容器本體及一蓋體所組成，該容器本體設有至少一方便加工物進出的開口，再由蓋體對應蓋闔于容器本體的開口處；再者，為避免蓋體與容器本體的接合處產生壓力滲漏，整體壓力容器且如圖1所示，進一步于蓋體12與容器本體11的接合處設置數量不等的密封元件13(如O環(huán))。

原則上，壓力容器可藉由設于蓋體12與容器本體11的間的密封元件13增加密封效果，理論上，亦會隨著密封元件13的數量增加而更產生相對較佳的密封效果；再者，傳統(tǒng)壓力容器的蓋體12與容器本體11相蓋闔后，透過分布在蓋體12周圍的夾具14壓制力量，使密封元件13緊密貼合于蓋體12與容器本體11之間而產生密封效果。

然而，在實際的使用狀態(tài)下，若是采用逐一將夾具14緊扣的操作方式，經常因為蓋體12周圍的夾具14力量分布不均，而使蓋體12與容器本體11無法完全密合；以及，若是采用旋轉蓋體12的方式讓全數夾具14同時緊扣，而僅由夾具14的力量使蓋體12與容器本體11緊密貼合時，則在蓋體12與容器本體11相對旋轉的操作過程中，全數密封元件13的上、下部位分別會接受來自蓋體12及容器本體11的不同方向的作用力，經常導致密封元件13扭轉變形而無法達到預期的密封效果。

發(fā)明內容

本發(fā)明即在提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器，以及使用該壓力容器構成氣密壓力環(huán)境的方法。

為達上揭目的，本發(fā)明的壓力容器，基本上包括：一第一本體、一第二本體、至少一主動密封元件、至少一被動密封元件，以及復數連接件；其中，該第一本體具有一供收容加工物的第一?、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道、一與第一容積空間相通的開口，于開口邊沿環(huán)設有一供與第二本體接觸的貼合面，于貼合面上設有至少一道環(huán)繞于開口外圍供收容主動密封元件的限位溝槽，于限位溝槽與開口之間設有至少一道環(huán)繞于開口外圍供固定被動密封元件的定位溝槽，另于限位溝槽處設有至少一第二壓力控制通道；該第二本體供覆蓋于該第一本體的開口處，且可供重復開闔；該至少一主動密封元件安裝于第一本體的限位溝槽中，可受限位溝槽內的壓力變化而與第一本體相對位移；該至少一被動密封元件被固定在第一本體的定位溝槽中，且其表面相對凸出貼合面預定高度；各連接件相對設于第一本體的開口周圍處，供構成第二本體與第一本體相連接。

依據上述技術特征，所述第二本體設有一與第一容積空間對應的第二容積空間。

依據上述技術特征，所述至少一主動密封元件在其內外側邊沿凸設有供與限位溝槽的壁面貼合的翼部。

依據上述技術特征，所述第一本體在其開口邊沿設有一相對凸出周圍預定寬度的肩部，該貼合面且延伸至肩部處。

所述至少一定位溝槽的槽口寬幅相對小于或等于或大于槽底寬幅。

所述壓力容器將全數連接件固設于第一本體的肩部處，且全數連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成。

所述壓力容器將全數連接件固設于第二本體上，且全數連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。

所述壓力容器將預定數量的連接件固設于第一本體的肩部處，全數固設于第一本體肩部處的連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成；以及，將其余的連接件固設于第二本體上，全數固設于第二本體上的連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。