[發(fā)明專利]一種錸泡沫的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310412184.8
• 申請日: 2013-09-11
• 公開（公告）號: CN103722790A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳照峰;聶麗麗
• 申請（專利權(quán)）人: 太倉派歐技術(shù)咨詢服務(wù)有限公司
• 主分類號: B32B5/18
• 分類號: B32B5/18;B32B9/00;B32B15/04;C23C16/14
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1.一種錸泡沫，其特征在于由碳泡沫基底和附著于泡沫內(nèi)壁的錸薄膜所組成，錸薄膜的厚度為200～5000nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錸泡沫，其特征在于所述的錸薄膜的成分中含有鈮，鈮含量為0～100％。

3.一種錸泡沫的制備方法，其特征在于包括下述順序的步驟：

(1)制備碳泡沫；

(2)在碳泡沫基底中沉積錸薄膜：氯氣通過管道進入盛有錸碎屑的反應(yīng)室，與錸發(fā)生反應(yīng)生成氯化錸氣體，氯化錸高溫分解生成錸和氯氣，錸沉積在碳泡沫中，而氯氣則從底部的排氣管道揮發(fā)排出。

(3)反應(yīng)一段時間后關(guān)閉閥門，冷卻后取出，即得到一種錸泡沫。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于所述的該制備方法采用改進的CVD沉積爐，在爐體的上部設(shè)置有可以加熱的反應(yīng)室，爐底設(shè)有與反應(yīng)室相通的排氣管道。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于所述的碳泡沫是通過聚氨酯泡沫熱解得到的，具體的工藝過程是：先在空氣中、200～255℃下將聚氨酯泡沫加熱；接著使基體材料在惰性氣氛中、700～900℃下碳化，得到碳泡沫。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于所述的反應(yīng)室的溫度為500～550℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于氯化錸分解之前，碳泡沫被加熱到900～1200℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于碳泡沫在CVD爐中的沉積時間為1～4小時。