[發(fā)明專利]一種阻抗匹配方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310412111.9
• 申請(qǐng)日: 2013-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104425208B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋剛;李興存;宋銘明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H05H1/46
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張?zhí)焓?/td>

1.一種阻抗匹配方法，用于在交替循環(huán)的刻蝕和沉積中使得射頻電源的阻抗和匹配網(wǎng)絡(luò)與反應(yīng)腔的阻抗匹配，其特征在于，所述阻抗匹配方法包括：

S1、在前N個(gè)刻蝕步驟中，調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)，使所述射頻電源的阻抗和所述匹配網(wǎng)絡(luò)與所述反應(yīng)腔的阻抗匹配，并獲取所述匹配網(wǎng)絡(luò)的刻蝕步驟阻抗值，以及在前N個(gè)沉積步驟中，調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)，使所述射頻電源的阻抗和所述匹配網(wǎng)絡(luò)與所述反應(yīng)腔的阻抗匹配，并獲取所述匹配網(wǎng)絡(luò)的沉積步驟阻抗值；

S2、在第N+1個(gè)以及后續(xù)的刻蝕步驟中，設(shè)定所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值為所述刻蝕步驟阻抗值，在第N+1個(gè)以及后續(xù)的沉積步驟中，設(shè)定所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值為所述沉積步驟阻抗值，并在第N+1個(gè)以及后續(xù)的刻蝕步驟和第N+1個(gè)以及后續(xù)的沉積步驟中，調(diào)節(jié)所述射頻電源的頻率，以使所述射頻電源的阻抗和所述匹配網(wǎng)絡(luò)與所述反應(yīng)腔的阻抗匹配；

其中，N為預(yù)先設(shè)定的正整數(shù)；

N大于1時(shí)，所述S1中獲取的所述匹配網(wǎng)絡(luò)的刻蝕步驟阻抗值為：前N個(gè)刻蝕步驟中每個(gè)刻蝕步驟調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)后得到的所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值的平均值；所述S1中獲取的所述匹配網(wǎng)絡(luò)的沉積步驟阻抗值為：前N個(gè)沉積步驟中每個(gè)沉積步驟調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)后得到的所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值的平均值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述射頻電源為掃頻電源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述匹配網(wǎng)絡(luò)包括阻抗傳感器，所述阻抗傳感器能夠獲取所述匹配網(wǎng)絡(luò)和所述反應(yīng)腔的阻抗值；

所述S1中根據(jù)所述阻抗傳感器所獲取的所述匹配網(wǎng)絡(luò)和所述反應(yīng)腔的阻抗值，調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述匹配網(wǎng)絡(luò)包括阻抗可調(diào)元件，

所述調(diào)節(jié)所述匹配網(wǎng)絡(luò)包括：調(diào)節(jié)所述阻抗可調(diào)元件的參數(shù)值。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述S1中獲取所述匹配網(wǎng)絡(luò)的刻蝕步驟阻抗值，包括：獲取所述阻抗可調(diào)元件的刻蝕步驟參數(shù)值；

所述S1中所述獲取所述匹配網(wǎng)絡(luò)的沉積步驟阻抗值，包括：獲取所述阻抗可調(diào)元件的沉積步驟參數(shù)值。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述S2中設(shè)定所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值為所述刻蝕步驟阻抗值包括：設(shè)定所述阻抗可調(diào)元件的參數(shù)值為所述刻蝕步驟參數(shù)值；

所述S2中設(shè)定所述匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗值為所述沉積步驟阻抗值包括：設(shè)定所述阻抗可調(diào)元件的參數(shù)值為所述沉積步驟參數(shù)值。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述阻抗可調(diào)元件為電容和/或電感。