[發(fā)明專利]有源式有機(jī)電致發(fā)光器件背板及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310410909.X
• 申請(qǐng)日: 2013-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103456765A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐源竣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及平面顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種有源式有機(jī)電致發(fā)光器件背板及其制作方法。

背景技術(shù)

平面顯示裝置具有機(jī)身薄、省電、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)有的平面顯示裝置主要包括液晶顯示器（Liquid?Crystal?Display，LCD）及有機(jī)電致發(fā)光器件（Organic?Electroluminescence?Device，OELD）,也稱為有機(jī)發(fā)光二極管（Organic?Light?Emitting?Diode，OLED）。

現(xiàn)有的液晶顯示器一般為背光型液晶顯示器，其包括：殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶顯示面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組（Backlight?Module）。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)，從而將背光模組的光線折射出來(lái)產(chǎn)生畫(huà)面。

有機(jī)電致發(fā)光器件具備自發(fā)光、高亮度、寬視角、高對(duì)比度、可撓曲、低能耗等特性，因此受到廣泛的關(guān)注，并作為新一代的顯示方式，已開(kāi)始逐漸取代傳統(tǒng)液晶顯示裝置，被廣泛應(yīng)用在手機(jī)屏幕、電腦顯示器、全彩電視機(jī)等領(lǐng)域。有機(jī)電致發(fā)光器件與傳統(tǒng)的液晶顯示器不同，其無(wú)需背光源，直接在玻璃基板上設(shè)置非常薄的有機(jī)材料涂層，當(dāng)有電流通過(guò)時(shí)，這些有機(jī)材料涂層就會(huì)發(fā)光。

現(xiàn)有的有機(jī)發(fā)光二極管按驅(qū)動(dòng)方式分類(lèi)，包括：無(wú)源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管（Passive-matrix?organic?light?emitting?diode，PMOLED）與有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管（Active-matrix?organic?light?emitting?diode，AMOLED），其中，請(qǐng)參閱圖1，所述有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管一般包括：基板502、形成于基板502上的薄膜晶體管（Thin?Film?Transistor，TFT）504及形成于薄膜晶體管504上的有機(jī)發(fā)光二極管506，所述薄膜晶體管504驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光二極管506發(fā)光，進(jìn)而顯示相應(yīng)畫(huà)面。

薄膜晶體管包括驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管（Driving?TFT）、開(kāi)關(guān)薄膜晶體管（switch?TFT）及其他電路薄膜晶體管，在有機(jī)電致發(fā)光器件制備時(shí)，該驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管、開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管的柵極絕緣層（GI）同時(shí)形成，厚度相同，這就使得驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管、開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管的柵極電容（Ci）的大小相等，而薄膜晶體管的亞閾值擺幅（sub-threshold?swing，S.S.），根據(jù)公式：S.S.=kT/q?ln10(1+Cd/Ci)，可知，該薄膜晶體管的亞閾值擺幅取決于柵極電容大小，而柵極電容大小取決于柵極絕緣層的厚度（C=εA/d），那么當(dāng)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管、開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管的柵極絕緣層的厚度相等時(shí)，就導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管、開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管亞閾值擺幅的大小也相等。

薄膜晶體管亞閾值擺幅物理意義在于柵極電壓與漏極電流之間的波形曲線（Curving）在亞閾值區(qū)的斜率，通常認(rèn)為斜率在亞閾值區(qū)間內(nèi)很高的曲線表現(xiàn)形式，將不利于用于反映灰階變化的控制電壓的輸入控制；而在亞閾值區(qū)間內(nèi)的斜率較低的曲線表現(xiàn)形式，將利于控制反映灰階變化的控制電壓，可知，當(dāng)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管亞閾值擺幅較小時(shí)，會(huì)導(dǎo)致有機(jī)電致發(fā)光器的灰階不好定義，如果增加?xùn)艠O絕緣層的厚度以增加驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管亞閾值擺幅，以便定義灰階，那么就會(huì)導(dǎo)致開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管的亞閾值擺幅也隨之增大，增大操作電壓、降低電路的操作速度。

可見(jiàn)，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管亞閾值擺幅與開(kāi)關(guān)薄膜晶體管及其他電路薄膜晶體管的亞閾值擺幅之間存在矛盾，那么發(fā)明一種解決兩者之間矛盾的方案，對(duì)進(jìn)一步提高有機(jī)電致發(fā)光器的品質(zhì)是非常必要的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種有源式有機(jī)電致發(fā)光器件背板，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，灰階定義好，且操作電壓小，電路操作速度快。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種有源式有機(jī)電致發(fā)光器件背板的制作方法，其制程簡(jiǎn)單，能在保持開(kāi)關(guān)薄膜晶體管亞閾值擺幅較小的前提下有效提高驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的亞閾值擺幅，進(jìn)而在不影響操作電壓及電路操作速度的情況下，可以很好的定義灰階，提升有機(jī)電致發(fā)光器件的品質(zhì)。