[發明專利]一種彩膜基板的制備方法

有效

• 申請號: 201310409241.7
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN104423088B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 楊澤榮;隆清德
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G03F7/20
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 王黎延;張振偉

本發明公開了一種彩膜基板的制備方法，該方法包括：在基板上沉積光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形并紫外固化；或者，在基板上形成保護層，所述保護層材料為光固化型材料，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，在基板上分別沉積黑矩陣光阻、紅色光阻、綠色光阻和藍色光阻，并分別經過曝光、顯影，形成對應的圖形并紫外固化。本發明可抑制BM的線寬變寬，適應高分辨率顯示屏對BM窄線寬的要求，且可縮短固化時間，提高生產效率。

技術領域

本發明涉及液晶顯示技術領域，尤其涉及一種彩膜基板的制備方法。

背景技術

目前，彩膜（CF）基板的制作過程中，黑矩陣（BM）、紅、綠、藍（R、G、B）亞像素以及柱形隔墊物（PS）的制作都是在顯影之后，采用熱固化的后固化方式進行的。高分辨率的顯示屏要求具有較小的BM線寬，BM是采用光阻膠經旋涂、曝光、顯影后制備的，制備所得的BM結構如圖1所示，所述BM1整體呈現為倒梯形結構，上硬下軟。進行熱固化的后固化工藝時，由于光阻膠（PR），也就是光刻膠受熱軟化而向下流，會導致BM1的線寬變寬，如圖2所示，無法滿足高分辨率顯示屏的要求。而且，熱固化時間較長，生產效率低。

為了解決所述BM線寬變寬的問題，現有的背曝光技術可在一定程度上加強BM下部PR的固化，將顯影后形成的倒梯形結構進行保持，但經過熱烘烤之后仍會變形，導致BM線寬變寬，因此不能很好的解決BM線寬變寬的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種彩膜基板的制備方法，可抑制BM的線寬變寬，且可縮短固化時間。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

本發明提供了一種彩膜基板的制備方法，該方法包括：

在基板上涂覆光阻膠形成光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形并紫外固化。

其中，所述將光阻層形成圖形并紫外固化，具體包括：

所述光阻層為黑矩陣光阻層，形成黑矩陣圖形之后，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。

其中，所述將光阻層形成圖形并紫外固化，具體包括：

所述光阻層為紅色光阻層，形成紅色亞像素的圖形之后，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。

其中，所述將光阻層形成圖形并紫外固化，具體包括：

所述光阻層為綠色光阻層，形成綠色亞像素的圖形之后，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。

其中，所述將光阻層形成圖形并紫外固化，具體包括：

所述光阻層為藍色光阻層，形成藍色亞像素的圖形之后，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。

其中，所述將光阻層形成圖形并紫外固化，具體包括：

所述光阻層為柱形隔墊物的光阻層，形成柱形隔墊物的圖形之后，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。

上述方案中，所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。

優選的，采用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關系：

傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。

優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。

優選的，所述光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。

優選的，所述光阻膠中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。