[發明專利]一種彩膜基板的制備方法有效
| 申請號: | 201310409241.7 | 申請日: | 2013-09-10 |
| 公開(公告)號: | CN104423088B | 公開(公告)日: | 2018-09-11 |
| 發明(設計)人: | 楊澤榮;隆清德 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1335 | 分類號: | G02F1/1335;G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人: | 王黎延;張振偉 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 彩膜基板 制備 方法 | ||
1.一種彩膜基板的制備方法,其特征在于,該方法包括:
在基板上涂覆光阻膠形成光阻層,經過曝光、顯影,將光阻層形成圖形并紫外固化;
所述光阻層選自黑矩陣光阻層、紅色光阻層、綠色光阻層、藍色光阻層和柱形隔墊物的光阻層;
所述紫外固化為在形成所述圖形之后,從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射;
所述光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
2.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
3.如權利要求2所述的制備方法,其特征在于,采用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時,傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關系:
傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
4.如權利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構,每層之間各設置至少一個紫外光源。
5.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述光阻膠中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
6.一種彩膜基板的制備方法,其特征在于,該方法包括:
在形成紅色光阻層、綠色光阻層和藍色光阻層的基板上涂覆光固化型材料形成保護層,并紫外固化;
在具有所述保護層的所述基板上形成柱形隔墊物的光阻層;
所述紫外固化具體包括:分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射;
所述光固化型材料中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
7.如權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述紫外固化過程在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
8.如權利要求7所述的制備方法,其特征在于,采用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時,傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關系:
傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
9.如權利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構,每層之間各設置至少一個紫外光源。
10.如權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述光固化型材料中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
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