[發明專利]能夠收容工件的網結構體

無效

• 申請號: 201310407790.0
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN103668066A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 澀澤邦彥;帖佐千夏
• 申請（專利權）人: 太陽化學工業株式會社
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/14;C23C16/22;C23G3/00;B08B13/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

技術分野

本發明涉及能夠收容工件的網結構體，特別涉及能夠收容電子部件等小型工件的網結構體。這些網結構體例如在洗滌工件的洗滌裝置、對工件進行鍍敷處理的鍍敷裝置中使用。

背景技術

作為洗滌電子部件等小型工件的洗滌裝置，已知桶狀洗滌裝置。例如，在日本特開平7-205018號公報(專利文獻1)、日本特開2003-53279號公報(專利文獻2)中，公開了一種具備用于收容工件的網的筐的桶狀洗滌裝置。在通常的桶狀洗滌裝置中，通過將收容有工件的筐浸漬于洗滌液中，并在洗滌液中旋轉該筐，由此在洗滌液中攪拌工件來洗滌附著于該工件上的污垢。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平7-205018號公報

專利文獻2：日本特開2003-53279號公報

發明內容

發明要解決的問題

在被收容的工件為小型的情況下，需要按照該工件的尺寸使構成筐的網的開口部變小。然而，若使網的開口部變小，則將筐向洗滌液中浸漬時，因表面張力的作用會在網的開口部形成洗滌液的膜，結果，洗滌液變得不能在隔著網的筐內部與外部洗滌槽、空氣等氣體(氣氛)之間順利出入。因此，在筐內部裝入洗滌液為止的時間變長，從而洗滌操作的效率惡化。除此以外，若網的開口部變小，則在將筐從洗滌槽中拉起時，變得容易在網的開口部殘留洗滌液，液體除去狀況差，從而會增加操作者用于拉起筐的負擔、施加到上拉機構的負荷。另外，殘留在網上的洗滌液、處理液，在放置后會干燥固化從而有可能引起網的開孔的堵塞、或者成為其他工序的處理環境的污染源。

能夠收容工件的網狀的筐也可以在鍍敷裝置中使用。在鍍敷裝置中，將收容有電子部件等工件的筐浸漬于鍍敷液中，并對該電子部件進行鍍敷處理。在這種鍍敷裝置中，也會與上述洗滌裝置同樣地產生由使網的開口部變小而引起的各種不良情況。

因此，根據本發明的各種實施方式，提供透液性得到改善的網結構體。該網結構體例如以適于洗滌電子部件等工件的洗滌裝置、對電子部件等工件進行鍍敷處理的鍍敷處理裝置的形狀構成。

解決問題的手段

本發明的一個實施方式的網結構體具備：劃出用于收容工件的收容空間的網基體、及形成在所述網基體的表面上且具有比該網基體更高的疏水性的涂層薄膜。通過在劃出用于收容工件的收容空間的網基體的表面上設置具有比該網基體的疏水性更高的疏水性的涂層薄膜，洗滌液、鍍敷液等液體變得易于在用于收容工件的收容空間內部與外部之間透過。另一個實施方式的網結構體，具備劃出用于收容工件的收容空間的網基體，其以該網基體的表面的至少一部分具有比該表面的其他部分更高的疏水性的方式構成。根據這樣的實施方式，通過使網基體的表面的一部分具有更高的疏水性，洗滌液、鍍敷液等液體變得易于在用于收容工件的收容空間內部與外部之間透過。

本發明的另一個實施方式的網結構體，在網基體的表面上具備通過干式工藝形成的底涂劑薄膜。此時，疏水性的涂層薄膜形成在該底涂劑薄膜的表面上。作為底涂劑薄膜，若使用液體狀的底涂劑，則液體狀的底涂劑會在網基體的開口部(構成網基體的線構件之間的間隙)潤濕展開，從而有可能堵塞其開口部。因此，在本發明的一個實施方式中，不通過液體狀的底涂劑，而通過CVD法等干式工藝在網基體上形成底涂劑薄膜。可見，通過在網基體上隔著底涂劑薄膜形成涂層薄膜，可以在不堵塞網基體的開口部的情況下提高涂層薄膜的固著性。涂層薄膜例如為包含含氟硅烷偶聯劑的涂層。

一個實施方式中的底涂劑薄膜含有選自Si、Ti、Al、Zr及它們的氧化物中的至少一種物質。含有硅(Si)、鈦(Ti)、鋁(Al)、氧化鋁(Al₂Ox(x為任意數))或鋯(Zr)的底涂劑組合物層，會與含有氟的硅烷偶聯劑牢固地鍵合(參考日本特愿2012-29090)。認為，在該底涂劑薄膜中，源自硅(Si)、鈦(Ti)、鋁(Al)、氧化鋁(Al₂Ox)或鋯(Zr)、或者它們的氧化物的羥基，會與含氟硅烷偶聯劑的官能團形成基于脫水縮合反應的共價鍵、氫鍵和/或這些以外的鍵，因此，底涂劑薄膜與含氟硅烷偶聯劑可牢固地鍵合。該底涂劑薄膜可以在基體上直接形成，也可以隔著中間層間接形成。