[發明專利]車燈玻璃連續鍍膜裝置及方法

有效

• 申請號: 201310404050.1
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN103451614A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 朱建明
• 申請（專利權）人: 肇慶市科潤真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/10
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 謝靜娜;裘暉

技術領域

本發明涉及車燈玻璃鍍膜技術領域，特別涉及一種車燈玻璃連續鍍膜裝置及方法。

背景技術

傳統用于車燈玻璃鍍膜的設備一般為單真空室設備，工件的整個鍍膜工藝（包括抽氣、離子清洗、鍍膜、鍍保護層等）均在同一真空室內完成，由于各工序對真空室的真空度要求各不相同，因此，該設備在實際生產應用中存在以下缺陷：

（1）由于工件的整個鍍膜工藝均在同一真空室內完成，使得該真空室結構復雜，真空室內的真空度也必須按最高要求設備，設備維護成本相當高；

（2）該設備只設有一個真空室，當工件加工完成后，必須打開真空室才能更換工件，這就容易破壞整個鍍膜工藝的真空氣氛，影響后續鍍膜工藝的正常進行，也容易影響產品質量；同時，該真空室內無法完成工件表面的清潔即沉積等工藝，對工件的表面處理工藝必須采用其它專用設備完成，這就加大了工藝的復雜性，工件的表面質量也難以得到較好的控制。

（3）傳統的單真空室設備中普遍采用平面靶作為鍍膜靶材，由于車燈玻璃帶有弧形面，所以經常存在工件表面鍍膜不均勻的現象。

另外，目前常用于鍍膜機真空室的真空插板閥一般為翻板式結構，即通過翻轉閥板實現真空室工件通孔的啟閉，但該結構的真空插板閥中，由于閥板采用翻轉式，所占的空間較大，真空插板閥關閉時由于閥板靠自重擋住工件通孔，擋板底部沒有相應的固定機構，其密封效果不好；另外，真空插板閥必須設于真空室內部，其加工難度大，閥板易變形，日常的維護也相當困難。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足，提供一種原理簡單、工件表面鍍膜效果較好的車燈玻璃連續鍍膜裝置。

本發明的另一目的在于提供一種通過上述裝置實現的車燈玻璃連續鍍膜方法。

本發明的技術方案為：車燈玻璃連續鍍膜裝置，包括呈直線式連續排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構；第一個真空室的入口端設有前旋轉臺，最后一個真空室的出口端設有后旋轉臺，前旋轉臺與后旋轉臺之間通過輸送帶連接，前旋轉臺、多個真空室和后旋轉臺之間形成連續式的循環系統。

按照玻璃工件的輸送方向，所述多個真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口處設置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護層鍍膜室的連接處設置第五真空插板閥，保護層鍍膜室與后精抽室的連接處設置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設置第八真空插板閥；

前粗抽室外接第一抽真空機構，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機構，前精抽室、主鍍膜室和保護層鍍膜室分別外接第三抽真空機構，后粗抽室外接第四抽真空機構；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室和后精抽室分別設有獨立的擴散泵，并通過擴散泵外接相應的抽真空機構。

所述主鍍膜室內設有旋轉式的磁控濺射靶。采用旋轉式的磁控濺射靶作為鍍膜靶材，可實現工件表面均勻鍍膜，提高產品質量。

所述前旋轉臺呈圓形結構，前旋轉臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉臺的結構與前旋轉臺相同；前旋轉臺上設有上件工位，后旋轉臺上設有卸件工位。前旋轉臺及后旋轉臺的結構配合多個真空室的分布，可使整個鍍膜裝置的結構更緊湊，形成的循環系統可有效提高設備的機械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。

所述真空插板閥包括閥板、閥板開關氣缸和閥板鎖緊機構，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設于連接通道內，閥板開關氣缸與閥板外側面連接，閥板鎖緊機構與閥板板面連接；連接通道內設有閥板運動通道，閥板運動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔，閥板設于閥板運動通道內。

所述閥板開關氣缸設于閥板運動通道外端，閥板開關氣缸的活塞末端伸入閥板運動通道，且閥板開關氣缸的活塞末端與閥板外側面連接；閥板處于關閉狀態時，閥板一側的板面封住相應真空室的工件通孔，閥板另一側的板面與閥板鎖緊機構連接。

所述閥板鎖緊機構有兩組，分別設于閥板板面的左右兩側；各閥板鎖緊機構分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉軸，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設置鎖緊轉軸；

閥板壓緊臂設于鎖緊轉軸上端，鎖緊轉軸下端設有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結構；