[發(fā)明專利]車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310404050.1
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN103451614A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱建明
• 申請（專利權(quán)）人: 肇慶市科潤真空設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/10
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 謝靜娜;裘暉

1.車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，包括呈直線式連續(xù)排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機(jī)構(gòu)；第一個真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺，最后一個真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺，前旋轉(zhuǎn)臺與后旋轉(zhuǎn)臺之間通過輸送帶連接，前旋轉(zhuǎn)臺、多個真空室和后旋轉(zhuǎn)臺之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，按照玻璃工件的輸送方向，所述多個真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍍膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護(hù)層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥，保護(hù)層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥；

前粗抽室外接第一抽真空機(jī)構(gòu)，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機(jī)構(gòu)，前精抽室、主鍍膜室和保護(hù)層鍍膜室分別外接第三抽真空機(jī)構(gòu)，后粗抽室外接第四抽真空機(jī)構(gòu)；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨(dú)立的擴(kuò)散泵，并通過擴(kuò)散泵外接相應(yīng)的抽真空機(jī)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述前旋轉(zhuǎn)臺呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺相同；前旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有卸件工位。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述真空插板閥包括閥板、閥板開關(guān)氣缸和閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運(yùn)動通道，閥板運(yùn)動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔，閥板設(shè)于閥板運(yùn)動通道內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板開關(guān)氣缸設(shè)于閥板運(yùn)動通道外端，閥板開關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運(yùn)動通道，且閥板開關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機(jī)構(gòu)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板鎖緊機(jī)構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機(jī)構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉(zhuǎn)軸，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸；

閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)；

閥板壓緊氣缸的運(yùn)動方向與閥板開關(guān)氣缸的運(yùn)動方向互相垂直。

8.根據(jù)權(quán)利要求2或3任一項所述裝置實現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）帶有車燈玻璃工件的工件架進(jìn)入前旋轉(zhuǎn)臺上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥打開，前旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥；

（2）第一抽真空機(jī)構(gòu)對前粗抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到50Pa；

（3）第二真空插板閥打開，工件架進(jìn)入離子清洗室，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對車燈玻璃工件進(jìn)行離子清洗；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過擴(kuò)散泵對離子清洗室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達(dá)到5×10^-1Pa；

（4）離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥打開，工件架進(jìn)入前精抽室，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過擴(kuò)散泵對前精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5×10^-2Pa；

（5）第四真空插板閥打開，工件架進(jìn)入主鍍膜室，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過擴(kuò)散泵對主鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2×10^-1Pa；

（6）鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥打開，工件架進(jìn)入保護(hù)層鍍膜室，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護(hù)層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時開啟保護(hù)層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護(hù)層；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過擴(kuò)散泵對保護(hù)層鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至保護(hù)層鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2×10^-1Pa；

（7）保護(hù)層鍍膜完成后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥打開，工件架進(jìn)入后精抽室，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過擴(kuò)散泵對離子后精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5×10^-2Pa；

（8）第四抽真空機(jī)構(gòu)對后粗抽室進(jìn)行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到10Pa；然后第七真空插板閥打開，工件架進(jìn)入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥；

（9）對后粗抽室進(jìn)行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達(dá)到大氣平衡；然后打開第八真空插板閥，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜裝置。