[發(fā)明專利]一種曲面樣品電子探針定量線掃描方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310403292.9
• 申請日: 2013-09-07
• 公開（公告）號: CN103472082A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文竹;馬惠霞;嚴(yán)平沅;鐘莉莉;黃磊;王曉峰
• 申請（專利權(quán)）人: 鞍鋼股份有限公司
• 主分類號: G01N23/225
• 分類號: G01N23/225
• 代理公司: 鞍山華惠專利事務(wù)所 21213
• 代理人: 趙長芳

1.一種曲面樣品電子探針定量線掃描方法，其特征在于，具體步驟為：

（1）、確定分析區(qū)域?

將潔凈的分析樣品放入電子探針樣品室，用背散射電子圖像找到樣品分析區(qū)域；

（2）、參數(shù)設(shè)置

電鏡參數(shù)：測量時(shí)，加速電壓為15-25kV，電子束流為20-200nA，束斑尺寸為1?；

面分布圖參數(shù)設(shè)置：在菜單中選擇掃描方式為樣品臺掃描，最小移動(dòng)步長1.0?，坐標(biāo)手動(dòng)定位；

樣品臺掃描參數(shù)設(shè)置：掃描停留時(shí)間大于30ms，移動(dòng)步長大于1.0?×?1.0??；

Trace?Map參數(shù)設(shè)置：網(wǎng)格數(shù)據(jù)點(diǎn)陣大于9×9，讀取當(dāng)前點(diǎn)坐標(biāo)位置，移動(dòng)到下一個(gè)點(diǎn)，手動(dòng)聚焦再讀取該點(diǎn)坐標(biāo)，重復(fù)上述步驟直到分析區(qū)域內(nèi)所有網(wǎng)格點(diǎn)的坐標(biāo)位置全部讀取完畢；對上述坐標(biāo)進(jìn)行計(jì)算后保存計(jì)算結(jié)果；

（3）、獲得原始面掃描分布圖，利用元素特征X射線的波譜分析獲得分析區(qū)域元素X射線強(qiáng)度面掃描圖；

（4）、轉(zhuǎn)換為定量面分布圖，在同樣的試驗(yàn)條件測試所分析元素的標(biāo)準(zhǔn)試樣X射線強(qiáng)度，將原始的計(jì)數(shù)面掃描結(jié)果中的X射線強(qiáng)度換算成濃度含量，得到定量面分布圖；

（5）、Line?Profile線掃描

在定量面分布圖中應(yīng)用Line?Profile線掃描，得到經(jīng)修正的曲面樣品的定量線掃描曲線。