[發(fā)明專利]具有過濾器的容器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310399699.9 | 申請日： | 2013-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN103480208A | 公開（公告）日： | 2014-01-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | C·M·伯特徹;T·A·斯特德爾;雷新建;S·V·伊瓦諾夫 | 申請（專利權(quán)）人： | 氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司 |
| 主分類號： | B01D46/00 | 分類號： | B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 吳亦華 |
| 地址： | 美國賓夕*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 過濾器 容器 | ||
1.一種容器，用于從所述容器內(nèi)含有的前體材料中傳輸含前體的流體流，所述容器包括：由頂、一個或多個側(cè)壁及底限定的內(nèi)部體積；和至少一個用于氣化的前體的流體出口，和至少一個顆粒屏障，所述至少一個顆粒屏障限定了在內(nèi)部體積中的至少一個顆粒限制空間的至少部分，其中所述至少一個顆粒屏障包括至少一個三維過濾器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器，其中所述至少一個顆粒限制空間與所述至少一個出口流體連通，并且所述至少一個顆粒限制空間與部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括與所述至少一個出口流體連通的所述至少一個顆粒限制空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器，其進一步包括至少一個入口，所述入口將至少一種載氣導(dǎo)入至所述容器的內(nèi)部體積中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的容器，其中所述至少一個顆粒限制空間與所述至少一個入口流體連通，并且所述至少一個顆粒限制空間與部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括與所述至少一個入口流體連通的所述至少一個顆粒限制空間。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的容器，進一步地，其中所述至少一個顆粒限制空間包括至少一個第一顆粒限制空間和至少一個第二顆粒限制空間，所述至少一個第一和至少一個第二顆粒限制空間的每個都包括至少一個過濾器，其中所述至少一個第一顆粒限制空間與所述至少一個流體出口流體連通，且所述至少一個第二顆粒限制空間與所述至少一個流體入口流體連通，和所述至少一個第一和第二顆粒限制空間與所述部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括所述至少一個第一和第二顆粒限制空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的容器，其中所述第二顆粒屏障包括至少一個二維過濾器。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的容器，其中所述第二顆粒屏障包括所述至少一個三維過濾器。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的容器，其中所述顆粒屏障與以下的一個或多個連接：延伸進入內(nèi)部體積的入口管、延伸進入內(nèi)部體積的出口管、所述一個或多個側(cè)壁、所述頂或所述底。
9.根據(jù)前述任一權(quán)利要求任一項所述的容器，進一步地，其中所述頂是蓋，并且進一步包括至少一個流體入口和穿過所述蓋的所述至少一個流體出口，所述至少一個流體入口穿過所述蓋并將至少一種載氣導(dǎo)入所述容器內(nèi)部體積中。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求任一所述的容器，其中所述至少一個三維過濾器具有選自如下的形狀：管狀、杯狀、波紋管狀、立方體狀、圓錐體、曲棍球形和環(huán)管形。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的容器，其中所述至少一個三維過濾器包括選自單個杯或多個杯的杯，優(yōu)選單個杯。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的容器，其中所述杯進一步包括在杯中的管。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的容器，其中所述至少一個過濾器具有選自如下的至少一個：
大于20平方英寸的表面積；
大于或等于0.25英寸-1的體積設(shè)計因子；和
大于0.8英寸的表面積設(shè)計因子。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的容器，其包括多個所述出口，所述出口的每一個都具有在其上的顆粒屏障。
15.一種從容器分散含前體流體流的方法，所述含前體流體流含有前體的氣相，所述方法包括：
提供包括由頂、一個或多個側(cè)壁，和底限定的內(nèi)部體積的容器；所述容器具有在所述內(nèi)部體積中的前體和至少一個用于氣化的前體的流體出口，所述容器具有至少一個顆粒屏障，所述至少一個顆粒屏障限定了在內(nèi)部體積中的至少一個顆粒限制空間的至少部分，其中所述至少一個顆粒屏障包括至少一個三維過濾器；
蒸發(fā)所述前體從而形成所述流體流，其中所述至少一個顆粒屏障阻止在所述流體流中的顆粒進入所述至少一個顆粒限制空間。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，進一步地，其中所述至少一個顆粒限制空間與所述至少一個出口流體連通，并且所述至少一個顆粒限制空間與所述內(nèi)部體積的剩余部分以顆粒限制的流體連通，并且所述方法進一步在所述蒸發(fā)步聚之后還包括以下步驟：
使所述流體流從所述內(nèi)部體積穿過所述至少一個顆粒屏障進入所述至少一個顆粒限制空間；和
所述流體流通過所述至少一個出口離開所述容器。
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