[發明專利]吸附臺

有效

• 申請號: 201310395196.4
• 申請日: 2013-09-03
• 公開（公告）號: CN103681436A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 白戶順;工藤隆善
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;G01R31/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及一種適合于對液晶顯示面板、有機發光面板那樣的顯示板進行保持的吸附臺。

背景技術

例如在玻璃基板上形成有電路的液晶顯示面板那樣的顯示板的制造工序中，使用探測儀（日文：プローバ）對該顯示板進行電氣檢查。在該試驗中，通常利用負壓將作為被檢查體的液晶顯示面板保持在被組裝于探針測儀中的吸附臺上。

為了將接受了檢查的被檢查體自吸附臺安全且迅速地卸下，在吸附臺上以能自該吸附臺的吸附面突出的方式設置有用于使被檢查體自該吸附面浮起的多個升降銷（例如參照專利文獻1）。

當位于突出位置的升降銷在吸附面的上方自輸送機器人接受被檢查體時，該升降銷下降到吸附面下。在利用該升降銷的下降使被檢查體移動到上述吸附面上時，利用組裝于吸附臺的負壓機構使負壓作用于上述吸附面。在上述被檢查體接受檢查的期間內，利用上述負壓將該被檢查體可靠地保持于上述吸附面。檢查后，隨著升降銷的上升，自吸附面抬起被檢查體。由上述升降銷自吸附面抬起的上述被檢查體不會受到作用于吸附面與被檢查體之間的靜電的強烈影響，能夠由輸送機器人自吸附臺去除。

但是，由于上述的升降銷與被檢查體的接觸面積較小，所以隨著因被檢查體的大型化而發生的重量增加，被檢查體在與升降銷相接觸的接觸部受到的局部應力增大。包括該玻璃基板在內的被檢查體的局部應力的集中會對被檢查體施加較大的應力，所以不希望產生該局部應力的集中。

因此，提出了如下這種技術：利用彼此空開間隔地平行配置的許多個固定保持構件、和能在各固定保持構件之間相對于該固定保持構件升降地配置的許多個帶狀的升降構件構成吸附面，在向該吸附面交接被檢查體時，使上述升降構件相對于上述固定保持構件下降（例如參照專利文獻2）。

采用專利文獻2所述的裝置，上述升降構件在其上升位置與上述固定保持構件一同構成平坦的吸附面。當在吸附面與機器人手臂之間交接被檢查體時，能夠將機器人手臂插入到由于許多個帶狀的上述升降構件下降而形成的空間內，所以機器人手臂與吸附面不會干渉，而且彼此平行配置的多個固定保持構件以較寬的帶狀面積支承被檢查體，所以不會使較強的局部應力作用于被檢查體就能夠適當地處理被檢查體。

但是，在專利文獻2所述的裝置中，使用于吸附保持被檢查體的負壓發揮作用的吸附面由許多個固定保持構件和能夠分別在該固定保持構件之間升降的升降構件構成。因此，形成吸附面的支承臺的結構復雜化，并且需要在支承臺的內部設置用于使許多個升降構件同時升降的機構，由于支承臺的結構復雜化，所以存在吸附裝置的結構復雜化而高價這樣的缺點。

專利文獻1：日本特開2002–246450號公報

專利文獻2：日本特開2011–29565號公報

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種吸附臺，該吸附臺能夠在交接作為被檢查體的顯示面板時使該顯示面板在吸附面上升降，而不會導致結構復雜化，不會使較強的應力局部作用于該顯示面板。

本發明的吸附臺用于保持顯示面板，該吸附臺包括：支承臺，其具有開設有負壓開口的吸附面；多個升降條，其以橫穿上述吸附面的方式配置；多個凹部，該多個凹部彼此并行地設置在上述吸附面上，以便將上述升降條收容在上述支承臺內而使上述升降條不會自上述吸附面突出；支承機構，其在上述支承臺的側部中的、上述多個凹部敞開的部位以能夠使上述升降條升降的方式支承上述升降條；升降裝置，其與上述支承機構相關聯地設置，以便使上述升降條在自上述凹部突出的上升位置與收容在上述凹部中的下降位置之間升降，上述支承機構包括：一對支柱，其用于在上述升降條的兩端部支承該升降條；導向銷，其支承于該支柱和上述升降條中的任意一方；槽，其設于上述支柱和上述升降條中的另一方，用于容許該導向銷貫穿。

在本發明的上述吸附臺中，用于將上述升降條收容于上述支承臺的上述凹部形成為橫穿上述支承臺的上述吸附面。利用設置在上述支承臺的側部的上述支承機構，使能收容在上述凹部內的上述升降條在被收容在上述凹部內的下降位置與自上述吸附面突出的上升位置之間升降。因而，不必如以往那樣將上述支承臺形成為許多個固定構件和可動構件的集合體，而且為了向上述吸附臺交接上述顯示面板，能夠利用多個上述升降條使該顯示面板在上述吸附面上升降，所以不會導致上述吸附臺的結構復雜化，即使是大型的顯示面板，也能防止較強的應力局部地作用于該顯示面板。

可以將分別設于上述一對支柱或上述升降條的兩端部的一對槽中的至少一個槽形成為沿上述升降條的長度方向延伸的細長的槽。利用該細長的槽容許上述升降條的沿長度方向的傾斜，所以能夠補償在該升降條的兩端部的的升降動作的偏差。