[發明專利]電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置

有效

• 申請號: 201310390661.5
• 申請日: 2010-03-25
• 公開（公告）號: CN103533739B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 佐藤亮;齊藤均;天野健次
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,張會華

本申請是申請日為2010年3月25日、申請號為2010101411510、發明名稱為“電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具和罩固定裝置”的申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及在電感耦合等離子處理裝置中用于對將構成處理室頂板部分的窗構件的下表面覆蓋的罩進行固定的罩固定器具和罩固定裝置。

背景技術

在FPD（平板顯示器）的制造工序中，對FPD用的玻璃基板進行等離子蝕刻、等離子灰化、等離子成膜等各種等離子處理。作為進行這樣的等離子處理的裝置，公知有能夠產生高密度等離子體的電感耦合等離子（ICP）處理裝置。

電感耦合等離子處理裝置包括：處理室，其被氣密地保持，且能對作為被處理體的基板進行等離子處理；配置在處理室外部的高頻天線。處理室具有構成處理室的頂板部分的、由電介體等材質構成的窗構件，高頻天線被配置在窗構件的上方。在該電感耦合等離子處理裝置中，通過對高頻天線施加高頻電力，隔著窗構件在處理室內形成感應電場，利用該感應電場將被導入到處理室內的處理氣體轉化為等離子體，使用該等離子體來對基板進行規定的等離子處理。

在電感耦合等離子處理裝置中，在窗構件的下表面露出到處理室中時，該窗構件的下表面受到等離子體造成的損傷。由于窗構件無法容易地裝卸，因此，即使受到損傷，也無法容易地更換或者清洗。因此，如專利文獻1所述，利用能夠容易地裝卸的罩覆蓋窗構件的下表面。由此，能夠保護窗構件的下表面，而且，能夠容易地更換或者清洗受到損傷的罩。

專利文獻1：日本特開2001－28299號公報

如專利文獻1所述，以往，罩被多個螺釘固定在窗構件的支承構件上。更詳細地說明，在以往的罩固定方法中，在罩的周緣部附近部分分別形成有供螺釘的桿部貫穿的多個通孔，從罩的下表面側將螺釘的桿部插入到各通孔中，將該桿部擰入到窗構件的支承構件中而對罩進行固定。但是，在該以往的罩固定方法中產生了如下的問題。

在處理室中進行等離子處理時，罩的下表面被連續地暴露于等離子體中，因此，罩的下表面的溫度上升。在罩的下表面溫度上升的過程中，在罩的下表面產生不均勻的溫度分布，結果，在罩中產生拉伸、彎曲等微小的變形。此時，由于罩的材料（例如陶瓷）與支承構件的材料（例如鋁）之間的熱膨脹系數的不同，因此罩的變形量和支承構件的變形量產生差異。因此，在為了使罩的通孔附近部分完全不進行移動而利用螺釘將罩固定于支承構件的情況下，對罩的通孔附近部分施加過度的應力，罩有可能從該部分破損。

因此，也考慮通過使罩的通孔直徑充分大于螺釘的桿部直徑，并且，設置罩和螺釘能夠相對地移動的機構，不會對罩的通孔附近部分施加過度的應力。但盡管如此，在罩變形時，對罩施加的應力也易于集中在通孔附近部分，因此，易于因以通孔為起點產生的裂紋而導致罩的破損。

另外，在以往的罩固定方法中，在處理室的頂面形成有由多個螺釘的頭部形成的多個凸部。等離子處理時產生的副生成物易于附著在該凸部上。因此，在等離子處理過程中，一旦附著在螺釘頭部的副生成物從螺釘的頭部剝落而產生微粒（浮游粒子），該微粒就有可能導致蝕刻不良。另外，螺釘頭部被等離子體消耗而產生微粒，該微粒也有可能導致蝕刻不良。

并且，在以往的罩固定方法中，使用多個螺釘來固定罩，因此存在罩的裝卸作業性較差這樣的問題點。另外，應對FPD的大型化，電感耦合等離子處理裝置的處理室也被大型化。在具有大型的處理室的電感耦合等離子處理裝置中，有時窗構件和罩分別由被分割成的多個部分構成。在這種情況下，為了固定罩而使用更多的螺釘，因此，罩的裝卸作業性進一步降低。

發明內容

本發明是鑒于該問題點而做成的，其目的在于提供一種在電感耦合等離子處理裝置中能夠抑制用于對窗構件的下表面進行覆蓋的罩的破損和微粒的產生、而且能夠容易地裝卸罩的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具和罩固定裝置。

本發明的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具被用于電感耦合等離子處理裝置。該電感耦合等離子處理裝置包括：處理室，其具有構成頂板部分的窗構件，用于進行等離子處理；高頻天線，其被配置在上述窗構件的上方，用于在上述處理室內形成感應電場；支承構件，其用于支承上述窗構件；罩，其用于對上述窗構件的下表面進行覆蓋。本發明的罩固定器具用于固定上述罩。

本發明的罩固定器具包括：支承部，其用于對具有作為上述罩的一部分的下表面的被支承部進行支承；被固定部，其被固定于上述支承構件。