[發明專利]響應壓力的液態微電子機械系統組件

在審

• 申請號: 201310390589.6
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103663347A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 艾哈邁德禮薩·羅福加蘭
• 申請（專利權）人: 美國博通公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B7/02;B81B7/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶

1.一種液態微電子機械系統（MEMS）組件，包括：

板材；

在所述板材內的通道框架；

柔性通道面，與所述通道框架匹配以在所述板材內形成通道；

包含在所述通道內的液體微滴；以及

靠近所述通道的一個或多個導電元件，其中，當壓力被施加至所述柔性通道面時，所述液體微滴的形狀相對于所述一個或多個導電元件而改變，從而改變所述液態微電子機械系統組件的操作特性。

2.根據權利要求1所述的液態微電子機械系統組件，還包括將所述壓力施加至所述柔性通道面的壓力致動器。

3.根據權利要求2所述的液態微電子機械系統組件，其中，所述壓力致動器包括液態微電子機械系統裝置，所述液態微電子機械系統裝置包括：

在所述板材內的第二通道；

在所述第二通道內的第二液體微滴；

在所述第二通道內可移動定位的活塞；以及

微滴致動模塊，可操作用于將力施加在所述第二液體微滴上，以使所述第二液體微滴將轉移力施加在所述活塞上，從而又使所述活塞將所述壓力施加在所述柔性通道面上。

4.根據權利要求2所述的液態微電子機械系統組件，其中，所述壓力致動器包括：

尺寸收斂單元，可操作用于將所述壓力施加在所述柔性通道面上，其中，所述尺寸收斂單元將來自使用者接觸的力轉移到所述柔性通道面上的聚集點。

5.根據權利要求1所述的液態微電子機械系統組件，還包括：

包含導電微滴的液體微滴；以及

所述一個或多個導電元件包括兩個電觸點，其中，當所述壓力被施加至所述柔性通道面時，所述液體微滴與所述兩個電觸點接觸，以及當所述壓力未被施加至所述柔性通道面時，所述液體微滴與所述兩個電觸點中的至少一個不接觸，使得所述液態微電子機械系統組件起開關的作用。

6.根據權利要求1所述的液態微電子機械系統組件，還包括：

包含摻雜有電介質的微滴的液體微滴；以及

所述一個或多個導電元件包括兩個電容器板，其中，當所述壓力被施加至所述柔性通道面時，所述液體微滴相對于所述兩個電容器板而改變形狀，由此改變介電特性，使得所述液態微電子機械系統組件起變抗器的作用。

7.根據權利要求1所述的液態微電子機械系統組件，其中，所述板材包括以下項中的一個：

印刷電路板（PCB）；

集成電路（IC）封裝基板；以及

印刷電路板或集成電路封裝基板的再分配層（RDL）。

8.根據權利要求1所述的液態微電子機械系統組件，還包括：

第二柔性通道面，與所述通道框架匹配以形成所述通道，其中，當所述壓力被施加至所述柔性通道面和所述第二柔性通道面中的至少一個時，所述液體微滴的形狀相對于所述一個或多個導電元件而改變，從而改變所述液態微電子機械系統組件的所述操作特性。

9.一種液態微電子機械系統（MEMS）組件，包括：

板材；

在所述板材內的通道；

機械連接至所述通道的柔性容器；

包含在所述柔性容器中的液體微滴；以及

靠近所述通道的一個或多個導電元件，其中，當壓力被施加至所述柔性容器時，所述液體微滴被迫使推到所述通道中，從而改變所述液態微電子機械系統組件的操作特性。

10.一種液態微電子機械系統（MEMS）組件陣列，包括：

板材；

在所述板材內的多個通道框架；

柔性蓋，與所述多個通道框架匹配以在所述板材內形成多個通道；

多個液體微滴，其中，所述多個液體微滴的一個液體微滴被包含在所述多個通道的一個通道內；以及

多個導電元件組，其中，所述多個導電元件組中的一個導電元件組靠近所述通道，其中，當壓力被施加至所述柔性蓋時，所述液體微滴的形狀相對于所述一個導電元件組而改變，從而改變所述液態微電子機械系統組件陣列中的液態微電子機械系統組件的操作特性。