[發(fā)明專利]基板搬運(yùn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310388957.3
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103730398A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李壽鐘;崔恩載;李成杓;崔炳參;金允范;金賢柱;樸宰完;金正勇;池昌泫;樸宰玉
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社TES
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置。

背景技術(shù)

如半導(dǎo)體元件用的晶片、顯示器裝置用的玻璃基板或薄膜型太陽能電池用的玻璃基板等基板，是在基板上進(jìn)行多種工藝而制作完成的。此時，基板裝載到提供各工藝所需的最佳條件的基板處理裝置并被進(jìn)行處理。

如今，為了提高生產(chǎn)性，開發(fā)并使用能夠一次性地對基板進(jìn)行處理的多腔體式（cluster）基板處理裝置。

多腔體式基板處理裝置包括儲存基板的裝載固定腔（load?lock?chamber）、搬運(yùn)基板的搬運(yùn)腔及執(zhí)行各個工藝的多個工藝腔。搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置一般設(shè)置在真空狀態(tài)的搬運(yùn)腔上，將基板從裝載固定腔搬運(yùn)到搬運(yùn)腔、從搬運(yùn)腔搬運(yùn)到裝載固定腔，或在搬運(yùn)腔之間進(jìn)行搬運(yùn)。

韓國公開專利公報(bào)第10-2009-0008400號公開的基板搬運(yùn)裝置利用傳送帶驅(qū)動機(jī)構(gòu)38折疊或展開多關(guān)節(jié)臂31，通過多關(guān)節(jié)臂31的折疊或展開使機(jī)械手32進(jìn)行直線往返運(yùn)動，以搬運(yùn)待處理基板。但是，由于所述基板搬運(yùn)裝置利用傳送帶驅(qū)動機(jī)構(gòu)38折疊或展開多關(guān)節(jié)臂31，傳送帶驅(qū)動機(jī)構(gòu)38的一側(cè)必然裸露于外部。因此傳送帶驅(qū)動機(jī)構(gòu)38產(chǎn)生的顆粒有可能損傷待處理基板。

解決這種問題的搬運(yùn)機(jī)器人在日本專利公報(bào)第4364001號上被公開。

所述搬運(yùn)機(jī)器人，形成在第一連桿臂31一端的軸31a通過如電機(jī)等驅(qū)動單元可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)底座300上，第一連桿臂31的另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33上。另外，第二連桿臂34的一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)20上，另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33上。

隨著第一連桿臂31以軸31a的中心O1為基準(zhǔn)進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)，第一連桿臂31與第二連桿臂34以中間連桿33為基準(zhǔn)相互折疊或展開，由此使直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)20進(jìn)行直線往返運(yùn)動。直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)20上設(shè)置有多個機(jī)械手21用于搭載并支撐工件W。

所述搬運(yùn)機(jī)器人的第一連桿臂31以在旋轉(zhuǎn)底座300上支撐的軸31a為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)，所以，如果第一連桿臂31的另一端與第二連桿臂34的另一端相互可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合，當(dāng)連接第一連桿臂31兩端的虛擬直線與連接第二連桿臂34兩端的虛擬直線處于相互重疊而平行的死點(diǎn)狀態(tài)時，第一連桿臂31的旋轉(zhuǎn)，有可能導(dǎo)致第二連桿臂34同第一連桿臂31一同旋轉(zhuǎn)。此時，由于第一連桿臂31與第二連桿臂34無法相互折疊或展開，因此直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)20無法進(jìn)行直線運(yùn)動。

為了防止這些情況的發(fā)生，將所述搬運(yùn)機(jī)器人的第一連桿臂31的另一端及第二臂34的另一端相互隔開并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33，將另設(shè)的副連桿臂32的一端及另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)底座300及中間連桿33上。

因此，上述的現(xiàn)有搬運(yùn)機(jī)器人具有因結(jié)構(gòu)復(fù)雜而導(dǎo)致成本上升的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是旨在解決所述現(xiàn)有技術(shù)的問題點(diǎn)，其目的在于，提供一種能夠降低成本的基板搬運(yùn)裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，包括：支撐構(gòu)件；升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面；搬運(yùn)單元，設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動且相對于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端被所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件可旋轉(zhuǎn)地支撐；第二臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述第一臂的另一端；臂驅(qū)動部，設(shè)置在所述第一臂上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動過程中，當(dāng)所述第一臂與所述第二臂以互相折疊的狀態(tài)排列時，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開，從而消除死點(diǎn)。