[發明專利]基板搬運裝置

有效

• 申請號: 201310388957.3
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103730398A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 李壽鐘;崔恩載;李成杓;崔炳參;金允范;金賢柱;樸宰完;金正勇;池昌泫;樸宰玉
• 申請（專利權）人: 株式會社TES
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種基板搬運裝置，其包括：

支撐構件；

升降及旋轉構件，其可升降并可旋轉地設置在所述支撐構件的上面；

搬運單元，其設置在所述升降及旋轉構件上，用于搭載和支撐基板，并設置成能夠與所述升降及旋轉構件一起運動且相對于所述升降及旋轉構件進行直線運動，從而搬運基板；

第一臂，其一端可旋轉地支撐于所述升降及旋轉構件；

第二臂，其一端可旋轉地支撐于所述搬運單元，另一端可旋轉地支撐于所述第一臂的另一端；

臂驅動部，設置在所述第一臂上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準進行旋轉，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開的形態進行運動，在所述第一臂與所述第二臂的運動過程中，當所述第一臂與所述第二臂以互相折疊的狀態排列時，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準進行旋轉以使所述第二臂從所述第一臂展開，從而消除死點。

2.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，所述搬運單元包括：

固定構件，結合在所述升降及旋轉構件上；

滑動構件，可滑動地設置在所述固定構件上，所述第二臂的一端可旋轉地支撐于所述滑動構件，從而使所述滑動構件通過所述第二臂進行滑動；

多個機械手，其一側與所述滑動構件結合并與所述滑動構件一起運動，用于搭載和支撐所述基板。

3.根據權利要求2所屬的基板搬運裝置，其特征在于，

所述固定構件具有第一固定構件和第二固定構件，

所述滑動構件具有第一滑動構件和第二滑動構件，該第一滑動構件可滑動地設置在所述第一固定構件上，該第二滑動構件可滑動地設置在第二所述構件上并位于所述第一滑動構件的上側，

所述機械手具有與所述第一滑動構件結合的多個第一機械手以及與所述第二滑動構件結合的多個第二機械手，

所述第一臂及所述第二臂以隔著所述搬運單元相互面向的方式形成為一對，

某一個所述第一臂的一端可旋轉地支撐于所述升降及旋轉構件的一側，與某一個所述第一臂連接的某一個所述第二臂的一端可旋轉地支撐于所述第一滑動構件，

另一個所述第一臂的一端可旋轉地支撐于所述升降及旋轉構件的另一側，與另一個所述第一臂連接的另一個所述第二臂的一端可旋轉地支撐于所述第二滑動構件。

4.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其特征在于，

相互連接的某一個所述第一臂與某一個所述第二臂的運動，和相互連接的另一個所述第一臂與另一個所述第二臂的運動是相互獨立的。

5.根據權利要求2所述的基板搬運裝置，其特征在于，

在所述固定構件和所述滑動構件上分別形成有導軌和導槽，所述導軌和導槽相互插入結合以引導所述滑動構件的運動。

6.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，

所述第一臂呈盒狀，并具備：

主體，其內部形成有空間以設置所述臂驅動部，所述主體的上側與下側中至少一側是開放的；

蓋，與所述主體的開放的上側或下側結合。

7.根據權利要求6所述的基板搬運裝置，其特征在于，

所述主體與所述蓋之間分別設置有密封構件。

8.根據權利要求6所述的基板搬運裝置，其特征在于，

在所述升降及旋轉構件與所述搬運單元之間設置有隔離構件，

在所述支撐構件的內部設置有對所述升降及旋轉構件進行升降和旋轉的驅動軸，

在所述驅動軸、所述升降及旋轉構件、所述隔離構件及所述主體內形成有通道，

用于將外部電源供給到所述臂驅動部的電纜經過所述通道。