[發(fā)明專利]粘合帶粘貼方法和粘合帶粘貼裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310388691.2
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103681229A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奧野長平;山本雅之
• 申請（專利權(quán)）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/02
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種粘合帶粘貼方法，其是用于借助支承用的粘合帶將半導(dǎo)體晶圓粘接和保持于環(huán)形框的粘合帶粘貼方法，其中，

上述粘合帶粘貼方法包括以下的過程：

第1粘貼過程，在該第1粘貼過程中，在自寬度大于上述環(huán)形框的外形的寬度的帶狀的粘合帶的長度方向和寬度方向?qū)φ澈蠋┘恿藦埩Φ臓顟B(tài)下，將粘合帶粘貼于該環(huán)形框；

第2粘貼過程，在該第2粘貼過程中，利用成對的罩將上述環(huán)形框與半導(dǎo)體晶圓的之間的粘合帶夾住而形成腔室，將由該粘合帶分隔成的、容納有半導(dǎo)體晶圓的一側(cè)的空間減壓至低于另一個空間的氣壓，從而將粘合帶粘貼于半導(dǎo)體晶圓的形成于半導(dǎo)體晶圓外周的環(huán)狀凸部和該環(huán)狀凸部的內(nèi)側(cè)的扁平面；以及

切割過程，在該切割過程中，沿上述環(huán)形框的外形對粘合帶進(jìn)行切割。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合帶粘貼方法，其中，

在上述第1粘貼過程中，在沿粘合帶的長度方向?qū)φ澈蠋┘訌埩χ螅脵z測器測定表面的起伏狀態(tài)，與該起伏的產(chǎn)生狀態(tài)相對應(yīng)地調(diào)整寬度方向的張力。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粘合帶粘貼方法，其中，

預(yù)先求出與沿上述粘合帶的長度方向?qū)φ澈蠋┘拥膹埩ο鄬?yīng)地變化的表面的起伏圖案，在上述第1粘貼過程中，在積極地施加張力直至粘合帶的表面產(chǎn)生規(guī)定的起伏圖案之后，沿粘合帶的寬度方向持續(xù)對粘合帶施加張力，直到檢測器檢測到該起伏被消除為止。

4.一種粘合帶粘貼裝置，其用于借助支承用的粘合帶將半導(dǎo)體晶圓粘接和保持于環(huán)形框，其中，

上述粘合帶粘貼裝置包括：

保持臺，其用于以使上述半導(dǎo)體晶圓的在外周具有環(huán)狀凸部的面朝上的方式載置和保持上述半導(dǎo)體晶圓；

框保持部，其用于載置和保持上述環(huán)形框；

第1拉伸機(jī)構(gòu)，其用于沿比上述環(huán)形框的外形寬的帶狀的粘合帶的長度方向?qū)φ澈蠋┘訌埩Γ?/p>

第2拉伸機(jī)構(gòu)，其用于沿上述粘合帶的寬度方向?qū)φ澈蠋┘訌埩Γ?/p>

粘貼機(jī)構(gòu)，其用于將粘合帶粘貼于上述環(huán)形框；

切割機(jī)構(gòu)，其用于沿上述環(huán)形框的外形對粘合帶進(jìn)行切割；以及

由成對的罩構(gòu)成的腔室，該成對的罩以在上述半導(dǎo)體晶圓與環(huán)形框之間夾持粘合帶的方式對保持有半導(dǎo)體晶圓的保持臺進(jìn)行收納，

將由上述粘合帶分隔成的、容納有半導(dǎo)體晶圓的一側(cè)的空間減壓至低于另一個空間的氣壓，從而將粘合帶粘貼于半導(dǎo)體晶圓的形成于半導(dǎo)體晶圓外周的環(huán)狀凸部和該環(huán)狀凸部的內(nèi)側(cè)的扁平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的粘合帶粘貼裝置，其中，

該粘合帶粘貼裝置包括：

檢測器，其用于檢測在上述粘合帶的表面產(chǎn)生的起伏；以及

控制部，其根據(jù)檢測結(jié)果而利用上述第2拉伸機(jī)構(gòu)來調(diào)整粘合帶的寬度方向的張力。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的粘合帶粘貼裝置，其中，

該粘合帶粘貼裝置包括存儲部，該存儲部用于預(yù)先求出并存儲與沿上述粘合帶的長度方向?qū)φ澈蠋┘拥膹埩ο鄬?yīng)地變化的表面的起伏圖案，

上述控制部以如下方式進(jìn)行控制：一邊利用檢測器檢測粘合帶的表面的狀態(tài)，一邊將檢測結(jié)果與被存儲在存儲部中的規(guī)定的起伏圖案相比較，在利用第1拉伸機(jī)構(gòu)對粘合帶施加張力直至檢測結(jié)果與規(guī)定的起伏圖案相一致之后，一邊利用該檢測器檢測粘合帶的表面，一邊利用第2拉伸機(jī)構(gòu)沿粘合帶的寬度方向持續(xù)對粘合帶施加張力，直到該起伏被消除為止。