[發明專利]一種用于芯片顯影工藝的工藝噴嘴

有效

• 申請號: 201310379709.2
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN103472693A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 劉學平;王漢;向東;牟鵬;徐強;段廣洪
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳研究生院
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;B05B1/30
• 代理公司: 深圳市匯力通專利商標代理有限公司 44257
• 代理人: 茅秀彬;王鎖林

1.一種用于芯片顯影工藝的工藝噴嘴，其特征在于，包括：噴嘴主體和擋流板；

所述噴嘴主體包括一呈U型的主腔室，以及位于所述主腔室兩側且與所述主腔室相連通的顯影液入口和顯影液出口；

所述擋流板的橫截面呈T型，插裝于所述主腔室，所述擋流板密封所述主腔室口部，所述擋流板的兩T形端面貼于所述主腔室的腔壁；所述顯影液入口和顯影液出口位于所述擋流板的兩側，所述擋流板與所述主腔室之間的空間形成U型顯影液流道。

2.根據權利要求1所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述顯影液出口為狹縫。

3.根據權利要求1或2所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述擋流板包括蓋板法蘭和從所述蓋板法蘭垂直延伸出的擋板。

4.根據權利要求3所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述主腔室口部設置固定法蘭，所述蓋板法蘭與所述固定法蘭通過螺釘固定連接。

5.根據權利要求4所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述蓋板法蘭與所述固定法蘭之間設置O型密封圈，所述O型密封圈嵌入所述固定法蘭上的密封圈槽內。

6.根據權利要求4所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述顯影液入口與所述固定法蘭的下端相接觸，所述顯影液出口中心線的高度不大于與所述顯影液入口軸線的高度。

7.根據權利要求6所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述顯影液入口位于所述噴嘴主體長度方向上、所述噴嘴主體的中部。

8.根據權利要求3所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述擋板的橫截面為U形。

9.根據權利要求3所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述主腔室長度方向上的兩端設置與所述主腔室相接的插槽，所述擋板的兩端與插槽配合接觸。

10.根據權利要求1或2所述的工藝噴嘴，其特征在于，所述顯影液出口與所述主腔室在長度方向上一致。