[發(fā)明專(zhuān)利]一種矩形平面磁控濺射陰極

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310379659.8
• 申請(qǐng)日: 2013-08-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103602953A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭壽;葛承全;張超群;井治;張仰平;李險(xiǎn)峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 上海三方專(zhuān)利事務(wù)所 31127
• 代理人: 吳干權(quán);單大義

[技術(shù)領(lǐng)域]

本發(fā)明涉及磁控濺射鍍膜生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)是一種矩形平面磁控濺射陰極。

[背景技術(shù)]

磁控濺射技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于濺射功能膜，裝飾膜等。磁控濺射需要真空，因此磁控濺射靶需要置于真空中，因?yàn)榇趴貫R射具有“高速”、“低溫”的特點(diǎn)且可以將任何鍍材的薄膜沉積在任何基材上，因此磁控濺射已成為濺射技術(shù)的主流并廣泛應(yīng)用于大面積鍍膜生產(chǎn)中。

通常矩形平面磁控濺射陰極的靶面有效尺寸和靶座內(nèi)磁鐵的寬度相當(dāng)。陰極工作時(shí)，真空腔室內(nèi)的工藝氣體發(fā)生輝光放電，電離出的離子轟擊靶材，轟擊出靶材材料并沉積在基片上，由于受到輝光放電區(qū)域的限制，電離出的工藝氣體離子被限制在一個(gè)狹窄環(huán)形的跑道上，對(duì)應(yīng)的靶面上形成一個(gè)狹窄的刻蝕區(qū)域，隨著輝光放電的進(jìn)行，靶面刻蝕區(qū)域呈“V”形且刻蝕區(qū)域越來(lái)越狹窄，隨著“V”形溝槽的逐漸加深，刻蝕會(huì)變得更為劇烈，靶材很快被刻蝕“穿透”，此時(shí)必須更換靶材，因此矩形平面陰極的靶材利用率很低，一般在30%左右。

[發(fā)明內(nèi)容]

本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)新穎、能有效解決矩形平面陰極的靶材利用率很低等問(wèn)題的一種矩形平面磁控濺射陰極。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，設(shè)計(jì)一種矩形平面磁控濺射陰極,包括中靶材壓條1、中壓條2、邊靶材壓條3、邊壓條4、背板5、冷卻板6、陰極座7、支撐塊8、磁軛9、中立柱10、中磁鐵11、中磁靴12、邊磁鐵13、邊磁靴14和靶材15，其特征在于陰極座7為不導(dǎo)磁的不銹鋼材料，陰極座內(nèi)設(shè)有磁軛9，磁軛9為高導(dǎo)磁材料并通過(guò)螺栓和陰極座7固定在一起，磁軛9上設(shè)有磁鐵組件，所述的磁鐵組件包括四列磁鐵，中部?jī)闪袨橹写盆F，極性相同；兩側(cè)為邊磁鐵，極性相同，中磁鐵和邊磁鐵極性相反；磁鐵上部設(shè)有磁靴，磁鐵組件頂部設(shè)有冷卻板，冷卻板頂部設(shè)有背板，背板上部設(shè)有靶材，所述的陰極座7寬度大于兩側(cè)邊磁鐵的總跨度，靶材的總跨度大于邊磁鐵的總跨度。

所述的陰極座的寬度大于兩側(cè)邊磁鐵的總跨度的1.5倍，靶材15的總跨度大于邊磁鐵14總跨度的1.5倍。

所述的冷卻板6的材料為銅。

所述的兩中磁鐵之間設(shè)有中立柱，兩邊磁鐵與陰極座7之間分別設(shè)有支撐塊，冷卻板6的中間位置由中立柱10支撐，兩側(cè)分別由支撐塊8和陰極座7支撐。

所述的背板5上部安裝中壓條2和邊壓條4。

所述的陰極能允許靶材水平旋轉(zhuǎn)180°安裝，旋轉(zhuǎn)后第一次的刻蝕區(qū)域被移開(kāi)。

所述的冷卻板6、中壓條2和邊壓條4、背板5、中立柱10之間通過(guò)螺栓固定在陰極座7上且通過(guò)螺栓的緊固力將密封材料壓緊，支撐塊8、背板5、冷卻板6通過(guò)螺栓緊固在一起并把密封材料壓緊，形成對(duì)冷卻水通道的密封。

本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，將靶材第一次安裝后，經(jīng)過(guò)濺射，刻蝕區(qū)域位于靶材的一側(cè)，然后將靶材水平旋轉(zhuǎn)180°再重新安裝在陰極上，進(jìn)行第二次濺射，使兩次的刻蝕區(qū)域恰好連接成一個(gè)較大的刻蝕區(qū)域，從而提高靶材的利用率。

[附圖說(shuō)明]

圖1為本發(fā)明的剖面圖；

如圖所示，圖中：1.中靶材壓條??2.中壓條??3.邊靶材壓條??4.邊壓條??5.背板??6.冷卻板??7.陰極座??8.支撐塊??9.磁軛??10.中立柱??11.中磁鐵??12.中磁靴??13.邊磁鐵??14.邊磁靴??15.靶材。

[具體實(shí)施方式]

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，這種裝置的結(jié)構(gòu)和原理對(duì)本專(zhuān)業(yè)的人來(lái)說(shuō)是非常清楚的。

實(shí)施例1

如圖1所示，矩形平面磁控濺射陰極包括中靶材壓條1、中壓條2、邊靶材壓條3、邊壓條4、背板5、冷卻板6、陰極座7、支撐塊8、磁軛9、中立柱10、中磁鐵11、中磁靴12、邊磁鐵13、邊磁靴14和靶材15，陰極座7為不導(dǎo)磁的不銹鋼材料，陰極座內(nèi)設(shè)有磁軛9，磁軛9為高導(dǎo)磁材料并通過(guò)螺栓和陰極座7固定在一起，磁軛9上設(shè)有磁鐵組件，磁鐵組件包括四列磁鐵，中部?jī)闪袨橹写盆F，極性相同；兩側(cè)為邊磁鐵，極性相同，中磁鐵和邊磁鐵極性相反；磁鐵上部設(shè)有磁靴，磁鐵組件頂部設(shè)有冷卻板，冷卻板頂部設(shè)有背板，背板上部設(shè)有靶材，背板5上部安裝中壓條2和邊壓條4，陰極座的寬度大于兩側(cè)邊磁鐵的總跨度的1.5倍，靶材15的總跨度大于邊磁鐵14總跨度的1.5倍。陰極能允許靶材水平旋轉(zhuǎn)180°安裝，旋轉(zhuǎn)后第一次的刻蝕區(qū)域被移開(kāi)。

兩中磁鐵之間設(shè)有中立柱，兩邊磁鐵與陰極座7之間分別設(shè)有支撐塊，冷卻板6的中間位置由中立柱10支撐，兩側(cè)分別由支撐塊8和陰極座7支撐。