[發明專利]一種矩形平面磁控濺射陰極

無效

• 申請號: 201310379659.8
• 申請日: 2013-08-27
• 公開（公告）號: CN103602953A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 彭壽;葛承全;張超群;井治;張仰平;李險峰
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海三方專利事務所 31127
• 代理人: 吳干權;單大義

1.一種矩形平面磁控濺射陰極,包括中靶材壓條(1)、中壓條(2)、邊靶材壓條(3)、邊壓條(4)、背板(5)、冷卻板(6)、陰極座(7)、支撐塊(8)、磁軛（9）、中立柱（10）、中磁鐵（11）、中磁靴（12）、邊磁鐵（13）、邊磁靴（14）和靶材（15），其特征在于陰極座(7)為不導磁的不銹鋼材料，陰極座內設有磁軛(9)，磁軛(9)為高導磁材料并通過螺栓和陰極座(7)固定在一起，磁軛(9)上設有磁鐵組件，所述的磁鐵組件包括四列磁鐵，中部兩列為中磁鐵，極性相同；兩側為邊磁鐵，極性相同，中磁鐵和邊磁鐵極性相反；磁鐵上部設有磁靴，磁鐵組件頂部設有冷卻板，冷卻板頂部設有背板，背板上部設有靶材，所述的陰極座（7）寬度大于兩側邊磁鐵的總跨度，靶材的總跨度大于邊磁鐵的總跨度。

2.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的陰極座的寬度大于兩側邊磁鐵的總跨度的1.5倍，靶材(15)的總跨度大于邊磁鐵(13)總跨度的1.5倍。

3.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的冷卻板(6)的材料為銅。

4.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的兩中磁鐵之間設有中立柱(10)，兩邊磁鐵與陰極座(7)之間分別設有支撐塊(8)，冷卻板(6)的中間位置由中立柱(10)支撐，兩側分別由支撐塊(8)和陰極座(7)支撐。

5.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的背板（5)上部安裝中壓條(2)和邊壓條(4)。

6.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的陰極能允許靶材水平旋轉180°安裝，旋轉后第一次的刻蝕區域被移開。

7.如權利要求1所述的一種矩形平面磁控濺射陰極，其特征在于所述的冷卻板6、中壓條(2)和邊壓條(4)、背板（5）、中立柱（10）之間通過螺栓固定在陰極座7上且通過螺栓的緊固力將密封材料壓緊，支撐塊（8）、背板（5）、冷卻板（6）通過螺栓緊固在一起并把密封材料壓緊，形成對冷卻水通道的密封。