[發明專利]半導體檢查裝置以及半導體檢查方法

無效

• 申請號: 201310374109.7
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN103852703A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 西薗正實
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

相關申請

本申請享有以日本專利申請2012-265063號(申請日:2012年12月4日)為基礎申請的優先權。本申請通過參照該基礎申請而包含基礎申請的全部內容。

技術領域

本發明的實施方式涉及依照測試程序進行被測定對象元件的檢查的半導體檢查裝置以及半導體檢查方法。

背景技術

在使用測試程序進行半導體芯片的檢查的情況下，重要的是盡可能在短時間內進行檢查。從向半導體芯片的測試信號輸入引腳輸入測試信號起到信號輸出引腳的信號開始發生變化為止需要某種程度的時間。另外，信號輸出引腳的信號不是立刻就變成所希望的信號電平，而是從信號開始變化起，暫時信號電平變為不穩定的不穩定區域，然后信號電平變為穩定的穩定區域。

因此，以往對半導體芯片的測試信號輸入引腳提供測試信號，利用示波器等的計量器來測定信號輸出引腳的波形，分析該測定波形，檢測不穩定區域和穩定區域，根據該檢測結果設定信號的取入定時。該作業必須由操作者手工操作來進行，花費工夫。另外，該作業必須針對各信號輸出引腳的每個來進行，所以存在引腳數越多，操作者的工夫花費越多的問題。

發明內容

本發明的實施方式提供一種能夠在短時間內完成檢查的半導體檢查裝置以及半導體檢查方法。

實施方式所涉及的半導體檢查裝置具備測試程序執行部，依照測試程序向被測定對象元件的測試信號輸入引腳提供規定的信號，執行測試程序；信號穩定狀況檢測部，在測試程序的執行過程中，檢測被測定對象元件的信號輸出引腳的信號的不穩定區域以及穩定區域；測試時間計算部，根據由信號穩定狀況檢測部檢測出的不穩定區域以及穩定區域，計算具有從不穩定區域的期間到其后的穩定區域的開頭側的一部分的期間為止的時間寬度的最佳測試時間；測試程序修正部，使最佳測試時間反映于測試程序；以及信號波形取入部，根據由測試程序修正部使最佳測試時間反映于測試程序后的測試程序中記述的測試時間，取入被測定對象元件的信號輸出引腳的信號，測試程序執行部再次執行由測試程序修正部反映了最佳測試時間之后的測試程序。

附圖說明

圖1是表示一實施方式所涉及的半導體檢查裝置1的主要部分的結構的框圖。

圖2是表示包含圖1的半導體檢查裝置1的檢查系統2概略結構的圖。

圖3是表示圖1的半導體檢查裝置1的處理動作的一個例子的流程圖。

圖4是表示信號輸出引腳的信號的一個例子的信號波形圖。

圖5是表示測試時間計算部13計算出的最佳測試時間的一個例子的圖。

圖6是表示測試程序的一個例子的圖。

具體實施方式

以下，邊參照附圖邊說明本發明的實施方式。

圖1是表示一實施方式所涉及的半導體檢查裝置1的主要部分的結構的框圖，圖2是表示包含圖1的半導體檢查裝置1的半導體檢查系統2的概略結構的圖。

圖1的半導體檢查裝置1對被測定對象元件的各種電氣特性進行檢查。

進行檢查的電氣特性沒有特別限制，例如信號振幅、信號延遲延時間等的DC特性等。被測定對象元件的具體的種類也沒有特別限制，例如除了二極管、雙極性晶體管、MOS晶體管等分立半導體元件之外，還有系統LSI、存儲器元件等。

首先，說明圖2的半導體檢查系統2的概要。圖2的半導體檢查系統2具有與圖1相同的結構的半導體檢查裝置1、計算機裝置3、頭盒（Head?boxes）4、輸送器5。

計算機裝置3既可以是通用的PC，也可以是工作站、迷你計算機等。計算機裝置3和半導體檢查裝置1通過多個纜線進行連接。各纜線用來傳送檢查結果、測試程序等，既可以是進行串行傳送的纜線，也可以是進行并行傳送的纜線。另外，纜線的數量也沒有特別限制。

半導體檢查裝置1連接有例如多個頭盒4。各頭盒4連接有與被測定對象元件連接的測定纜線6。各測定纜線6與被測定對象元件的分別不同的測定引腳連接。各頭盒4由于能夠分別并行地進行測定，所以能夠同時進行一個被測定對象元件的多個測定引腳的信號波形測定。另外，將各頭盒4的測定纜線6分別與不同的被測定對象元件連接，還能夠同時進行多個被測定對象元件的某個特定引腳的信號波形測定。

輸送器5進行搬運被測定對象元件的處理。在與頭盒4連接的測定纜線6的頂端部設置有用于載置被測定對象元件的插座(未圖示)，輸送器5進行在各插座之間搬運被測定對象元件的處理。