[發(fā)明專利]半導體檢查裝置以及半導體檢查方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310374109.7
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN103852703A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 西薗正實
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

1.一種半導體檢查裝置，具備：

測試程序執(zhí)行部，依照測試程序向被測定對象元件的測試信號輸入引腳提供規(guī)定的信號，執(zhí)行所述測試程序；

信號穩(wěn)定狀況檢測部，在所述測試程序的執(zhí)行過程中，檢測被測定對象元件的信號輸出引腳的信號的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域；

測試時間計算部，根據(jù)由所述信號穩(wěn)定狀況檢測部檢測出的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計算具有從所述不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的所述穩(wěn)定區(qū)域的開頭側的一部分的期間為止的時間寬度的最佳測試時間；

測試程序修正部，使所述最佳測試時間反映于所述測試程序；以及

信號波形取入部，根據(jù)將由所述測試程序修正部使所述最佳測試時間反映于所述測試程序后的所述測試程序中記述的測試時間，取入被測定對象元件的信號輸出引腳的信號，

所述測試程序執(zhí)行部再次執(zhí)行由所述測試程序修正部反映了所述最佳測試時間之后的所述測試程序。

2.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述最佳測試時間是具有用于正常地取入所述信號輸出引腳的信號的所需最小限度的時間寬度的期間。

3.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述測試程序修正部將所述測試程序中記述的測試時間的值置換為所述最佳測試時間的值。

4.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述信號波形取入部在所述測試時間程序中記述的測試時間即將結束之前，取入對應的所述信號輸出引腳的信號。

5.根據(jù)權利要求4所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述信號波形取入部在對應的所述信號輸出引腳的信號從不穩(wěn)定區(qū)域轉移到穩(wěn)定區(qū)域之后，取入該信號。

6.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

在具有多個所述信號輸出引腳的情況下，所述測試時間計算部針對多個所述信號輸出引腳的每個計算所述最佳測試時間。

7.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述不穩(wěn)定區(qū)域是對應的所述信號輸出引腳的信號的信號電平開始變化但信號電平尚未穩(wěn)定的區(qū)域，

所謂所述穩(wěn)定區(qū)域是接著所述不穩(wěn)定區(qū)域的信號電平穩(wěn)定的區(qū)域。

8.根據(jù)權利要求1所述的半導體檢查裝置，其特征在于：

所述信號穩(wěn)定狀況檢測部每當所述測試程序執(zhí)行部執(zhí)行所述測試程序時就檢測所述不穩(wěn)定區(qū)域以及所述穩(wěn)定區(qū)域。

9.一種半導體檢查方法，具有：

依照測試程序向被測定對象元件的測試信號輸入引腳提供規(guī)定的信號，執(zhí)行所述測試程序的步驟；

在所述測試程序的執(zhí)行過程中，檢測被測定對象元件的信號輸出引腳的信號的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域的步驟;

根據(jù)檢測出的所述不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計算具有從所述不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的所述穩(wěn)定區(qū)域的開頭側的一部分的期間為止的時間寬度的最佳測試時間的步驟；

使所述最佳測試時間反映于所述測試程序的步驟；

根據(jù)將所述最佳測試時間反映于所述測試程序后的所述測試程序中記述的測試時間，取入被測定對象元件的信號輸出引腳的信號的步驟。

10.根據(jù)權利要求9所述的半導體檢查方法，其特征在于：

所述最佳測試時間是具有用于正常地取入所述信號輸出引腳的信號的所需最小限度的時間寬度的期間。

11.根據(jù)權利要求9所述的半導體檢查方法，其特征在于：

在反應于所述測試程序的步驟中，將所述測試程序中記述的測試時間的值置換為所述最佳測試時間的值。

12.根據(jù)權利要求9所述的半導體檢查方法，其特征在于：

在取入所述信號的步驟中，在所述測試時間程序中記述的測試時間即將結束之前，取入對應的所述信號輸出引腳的信號。

13.根據(jù)權利要求12所述的半導體檢查方法，其特征在于：

在取入所述信號的步驟中，在對應的所述信號輸出引腳的信號從不穩(wěn)定區(qū)域轉移到穩(wěn)定區(qū)域之后，取入該信號。

14.根據(jù)權利要求9所述的半導體檢查方法，其特征在于：

在計算所述最佳測試時間的步驟中，在具有多個所述信號輸出引腳的情況下，針對多個所述信號輸出引腳的每個計算所述最佳測試時間。