[發明專利]板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置

無效

• 申請號: 201310372689.6
• 申請日: 2013-08-23
• 公開（公告）號: CN103630552A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 木村宏;平石雅裕
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。

背景技術

近年來，液晶顯示裝置、等離子體顯示裝置、有機EL顯示裝置等FPD(Flat?Panel?Display：板狀體)用作大型電視機、個人計算機、便攜式電話機等可移動設備的顯示裝置。

上述顯示裝置使用具備至少一片玻璃板的顯示元件。對于上述顯示元件，要求顯示性能高質量化，因此對于顯示元件的玻璃板，也要求無瑕疵、無波紋(平坦度高)的高質量的玻璃板。另外，隨著顯示畫面尺寸的大型化和可移動設備的興起，也產生了輕量化、薄型化這種要求。

作為使用于上述FPD的玻璃板的制造方法的一例，已知浮法。

在通過上述浮法制造玻璃板的方法中，首先，將玻璃原料放入到溶解槽而制造熔融玻璃。接著，將熔融玻璃連續地提供給收容于浴槽的熔融錫的表面上。被提供的熔融玻璃一邊沿熔融錫的表面從上游側向下游側流動一邊成形為帶狀的玻璃帶。從浴槽的出口取出玻璃帶，之后，在使用緩冷爐將其逐漸冷卻到室溫左右之后，利用切斷裝置切斷為規定大小的玻璃板。

在通過浮法制造玻璃板的方法中，在與浴槽的熔融錫接觸的玻璃板的表面(底面)易于產生由熔融錫中產生的氣泡引起的缺陷。另外，由于成形步驟而有時在玻璃板的表面產生波紋并且附著異物。因此，在玻璃板的制造裝置中設置有將切斷后的玻璃板的上述表面(被研磨面)研磨成適合于FPD用的高質量(平坦度)的研磨裝置(例如專利文獻1、2)。

專利文獻1的研磨裝置是連續式的研磨裝置，其沿玻璃板的輸送路徑配置多臺研磨用具，一邊沿輸送路徑輸送玻璃板，一邊利用多臺研磨用具來研磨玻璃板的表面。

另外，專利文獻2的研磨裝置是間歇式的研磨裝置，其不輸送玻璃板而使用自轉的一臺研磨用具來研磨玻璃板的表面。

另外，在上述浮法的制造方法中，有時在玻璃板的表面缺陷(以下稱為表面缺陷)與成形時玻璃帶的移動方向平行地具有某種趨勢地分布。上述表面缺陷是指由附著于輸送玻璃帶的輥的玻璃片、玻璃原料的攪拌不均等各種理由產生的微小的瑕疵、波紋以及異物的附著。

上述瑕疵、波紋以及異物的附著以具有大致一個方向的規則性的條紋狀產生。利用上述研磨裝置去除這種瑕疵、波紋以及異物，但是根據表面缺陷的大小不同，有時難以完全去除。因此，在研磨裝置的后級例如設置專利文獻3所公開的已知的缺陷檢查系統，利用該缺陷檢查系統來檢查研磨后的玻璃板的表面是否存在瑕疵、異物。

另外，例如使用專利文獻4所公開的已知的平坦度測量裝置來檢查研磨后的玻璃板的表面的波紋。

專利文獻1：日本特開2007-190657號公報

專利文獻2：日本特開2004-122351號公報

專利文獻3：日本特開2010-48745號公報

專利文獻4：日本專利第3411829號公報

發明內容

發明要解決的問題

專利文獻3所公開的缺陷檢查系統能夠檢測玻璃板的瑕疵和異物，但是希望進一步詳細地獲取瑕疵的產生位置和異物的附著位置。這是由于，通過獲取這種瑕疵和異物的產生和附著位置能夠驗證瑕疵和異物的產生和附著的原因，成為用于對制造裝置的結構構件(例如輸送輥)進行修補的信息源。然而，以往的玻璃板的缺陷檢查裝置沒有構筑這種系統。

本發明是鑒于這樣的問題而完成的，目的在于提供一種檢查板狀體的缺陷并能夠獲取缺陷的產生和附著位置的板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。

用于解決問題的方案

為了達到上述目的，本發明的板狀體的缺陷檢查方法的特征在于，具備以下步驟：成形步驟，形成板狀體；第一缺陷檢查步驟，通過攝像單元檢查在上述成形步驟中形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及第二缺陷檢查步驟，使用檢查單元檢查在上述第一缺陷檢查步驟中檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。

為了達到上述目的，本發明的板狀體的缺陷檢查裝置的特征在于，具備：成形部，其形成板狀體；第一缺陷檢查單元，其通過攝像單元檢查由上述成形部形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及第二缺陷檢查單元，使用檢查單元檢查由上述第一缺陷檢查單元檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。