[發明專利]板狀體的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置

無效

• 申請號: 201310372689.6
• 申請日: 2013-08-23
• 公開（公告）號: CN103630552A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 木村宏;平石雅裕
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，具備以下步驟：

成形步驟，形成板狀體；

第一缺陷檢查步驟，通過攝像單元檢查在上述成形步驟中形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及

第二缺陷檢查步驟，使用檢查單元檢查在上述第一缺陷檢查步驟檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。

2.根據權利要求1所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

上述第二缺陷檢查步驟具備以下步驟：

搭載步驟，將上述板狀體以靠基座放置的方式搭載于基座；

缺陷檢測步驟，使與上述基座相對置地配置的觀察光學單元和上述基座相對地移動，來利用上述觀察光學單元發現搭載于上述基座的上述板狀體的缺陷；

點光照射步驟，從光源單元對利用上述觀察光學單元發現的上述缺陷的位置照射點光；以及

缺陷位置存儲步驟，通過計算單元計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置并將其存儲到上述存儲單元。

3.根據權利要求1或者2所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm～0.7mm，一邊的長度為1500mm以上。

4.根據權利要求2或者3所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

在上述缺陷檢測步驟中，一邊使上述基座升降一邊使上述觀察光學單元和上述光源單元在水平方向上移動。

5.根據權利要求1～4中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

上述成形步驟具備以下步驟：

玻璃帶成形步驟，通過浮法形成帶狀的玻璃帶；

切斷步驟，將上述玻璃帶切斷為規定尺寸的矩形狀的作為上述板狀體的玻璃板；以及

研磨步驟，通過研磨單元對上述玻璃板的表面進行研磨。

6.根據權利要求1～5中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

還具備分揀步驟，在該分揀步驟中將在上述第二缺陷檢查步驟中結束檢查的上述板狀體根據缺陷檢查結果分揀至板狀體捆包部、板狀體再研磨部或者板狀體廢棄部。

7.根據權利要求6所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為合格品的上述板狀體輸送到上述板狀體捆包部，

將在上述第一缺陷檢查步驟中判斷為次品的上述板狀體輸送到上述第二缺陷檢查步驟。

8.根據權利要求1～7中的任一項所述的板狀體的缺陷檢查方法，其特征在于，

在使上述板狀體的表面朝向水平方向的狀態下將上述板狀體從上述第一缺陷檢查步驟輸送到上述第二缺陷檢查步驟，

上述第二缺陷檢查步驟具備：立起步驟，使上述板狀體立起；輸送搭載步驟，將上述立起的上述板狀體輸送到上述基座并搭載于上述基座；搬出步驟，將上述板狀體以立起的狀態從上述基座搬出；以及倒伏步驟，使上述搬出的上述板狀體倒伏到水平方向而搬出。

9.一種板狀體的缺陷檢查裝置，其特征在于，具備：

成形部，其形成板狀體；

第一缺陷檢查單元，其通過攝像單元檢查由上述成形部形成的上述板狀體的表面的缺陷；以及

第二缺陷檢查單元，使用檢查單元檢查由上述第一缺陷檢查單元檢查出缺陷的上述板狀體的表面，將上述板狀體的表面的缺陷的位置存儲到存儲單元。

10.根據權利要求9所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特征在于，

上述第二缺陷檢查單元的上述檢查單元具備：

基座，上述板狀體以靠基座放置的方式搭載于該基座；

觀察光學單元，其與上述基座相對置地配置；

移動單元，其使上述基座與上述觀察光學單元相對地移動；

光源單元，其向搭載于上述基座的上述板狀體照射點光；以及

計算單元，其計算上述點光在上述板狀體的表面上的照射位置的坐標位置，

上述存儲單元存儲計算出的上述坐標位置。

11.根據權利要求9或者10所述的板狀體的缺陷檢查裝置，其特征在于，

上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1mm～0.7mm，一邊的長度為1500mm以上。