[發(fā)明專利]一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310365996.1 | 申請日： | 2013-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN103409807A | 公開（公告）日： | 2013-11-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 潘相成 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州市好利萊光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213164 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 led 襯底 晶片 加工 腐蝕 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法，其特征在于：所述腐蝕液由硫酸、FQ清洗液、磷酸、過氧化氫、硝酸所構(gòu)成，各組分按質(zhì)量百分比分別為硫酸10～20％，F(xiàn)Q清洗液20～30％，磷酸15～25％，過氧化氫5～10％，硝酸25～40％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法，其特征在于：
(1)將容器清洗3遍將硫酸緩慢倒入容器內(nèi)；
(2)將FQ清洗液、磷酸、硝酸按比例分別倒入容器內(nèi)，加熱到180度；
(3)達到規(guī)定的溫度后，將加入5～10％過氧化氫。
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