[發明專利]一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法

無效

• 申請號: 201310365996.1
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN103409807A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 潘相成
• 申請（專利權）人: 常州市好利萊光電科技有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及藍寶石加工腐蝕液制備方法技術領域，尤其是一種制備腐蝕液方法，具體地說是一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法。

背景技術

藍寶石Sapphire，又稱白寶石，是人造單晶材料，分子式為A12O3，為六方晶體結構。硬度極高(莫氐硬度：9.2～9.4)、耐高溫、耐磨損、抗腐蝕和透光波段寬(光譜范圍：0.3～6μm)的優質光功能材料。具有集優良光學性能、物理性能和化學性能的獨特結合體。作為最硬(單晶純度≥99.99％，硬度9mohs)的氧化物晶體，藍寶石由于其光學和物理特性而被運用于各種要求苛刻的領域。藍寶石可以在高溫下保持其高強度、優良的熱屬性和透過率。它有著很好的熱特性，極好的電氣特性和介電特性，并且防化學腐蝕。隨著科學技術的迅猛發展，藍寶石(A12O3)晶體已經成為現代工業，尤其是微電子及光電子產業極為重要的基礎材料。

隨著節能減排及綠色能源的提出，作為制作發光器件襯底的藍寶石表面清洗加工成為人們研究的焦點，為了滿足藍寶石光學器件發展的需求，藍寶石晶片表面清洗技術成為急待解決的重要問題。

發明內容

本發明的目的是為克服現有技術的不足，提供了一種LED襯底晶片加工腐蝕液制備方法，本發明方法制備腐蝕液，可對晶片表面金屬離子、落塵、污垢徹底清洗干凈減少晶片表面附屬物及金屬離子等，相對于一般加工工藝縮短了加工流程，提高了效率，成本更低。

本發明采用的技術方案是：本發明專用腐蝕液由硫酸、FQ清洗液、磷酸、過氧化氫、硝酸所構成，各組分按質量百分比分別為硫酸10～15％，FQ清洗液10～20％，磷酸10～20％，過氧化氫15～25％，硝酸20～30％。

本發明的制備方法在于：

(1)將容器清洗3遍將硫酸緩慢倒入容器內；

(2)將FQ清洗液、磷酸、硝酸按比例分別倒入容器內，加熱到180度；

(3)達到規定的溫度后，將加入5～10％過氧化氫即可。

本發明的有益效果是：

(1)本發明方法制備腐蝕液，可對晶片表面金屬離子、落塵、污垢徹底清洗干凈減少晶片表面附屬物及金屬離子等；

(2)產品質量提升：使表面雜質離子含量可以控制在：≤8×1012個/cm²，表面塵埃數：大于0.3um²≤50個以內，從而減少了后段客戶加工困難；

(3)穩定性好：在制備過程中全部在100級無塵車間制備，從而減少制備過程中產生的污染問題，使產品穩定性更好；

(4)低成本：相對于一般加工工藝縮短了加工流程，提高了效率，成本更低。

具體實施方式

實例1：先將容器清洗3遍，然后將20％硫酸緩慢倒入容器內；將20％FQ清洗液、15％磷酸、40％硝酸分別倒入容器內，加熱到180度；達到規定的溫度后，將加入5％過氧化氫即可得到腐蝕液，當上述工藝專用腐蝕液使用能夠提高藍寶石襯底晶片的質量，而且大大縮短制備周期，從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。

實例2：先將容器清洗3遍，然后將15％硫酸緩慢倒入容器內；將25％FQ清洗液、20％磷酸、32％硝酸分別倒入容器內，加熱到180度；達到規定的溫度后，將加入8％過氧化氫即可得到腐蝕液，當上述工藝專用腐蝕液使用能夠提高藍寶石襯底晶片的質量，而且大大縮短制備周期，從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。

實例3：先將容器清洗3遍，然后將10％硫酸緩慢倒入容器內；將30％FQ清洗液、25％磷酸、25％硝酸分別倒入容器內，加熱到180度；達到規定的溫度后，將加入10％過氧化氫即可得到腐蝕液，當上述工藝專用腐蝕液使用能夠提高藍寶石襯底晶片的質量，而且大大縮短制備周期，從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。