[發(fā)明專利]晶圓測試中實現(xiàn)位置對準的確認方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310365852.6
• 申請日: 2013-08-21
• 公開（公告）號: CN104422864B
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝晉春;辛吉升
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31211
• 代理人: 高月紅

1.一種晶圓測試中實現(xiàn)位置對準的確認方法，其特征在于：所述方法是對包含有非易失性存儲器知識產(chǎn)權(quán)的芯片的晶圓進行兩次以上測試流程的位置對準確認方法，其步驟包括：

1)先規(guī)定芯片存儲器區(qū)域的地址Z位置為存儲映射地址的位置，芯片還包含有芯片狀態(tài)的標志位；

2)在第一次測試流程中，測試儀從探針臺系統(tǒng)中讀取晶圓上的芯片位置A信息，并通過測試儀把對應的映射關(guān)系寫入到晶圓上對應的芯片中；

3)在第二次及后續(xù)的流程測試中，根據(jù)探針臺系統(tǒng)讀取的芯片位置A及目標芯片中讀取出的位置A’進行比對，如果位置A與位置A’轉(zhuǎn)換出來的位置信息不相同，則說明第一次測試流程中的位置與后續(xù)測試中位置有差異，并且發(fā)現(xiàn)在測試中位置有差異時，通過測試儀報警；

如果位置A與位置A’轉(zhuǎn)換出來的位置信息一致，則繼續(xù)進行后續(xù)的測試。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟1)中，地址Z最少包含一個字節(jié)；標志位可由一個字節(jié)組成。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟2)中，晶圓上對應的芯片選擇應滿足如下要求：芯片存儲映射關(guān)系的地址區(qū)域應為可正常操作區(qū)域，芯片應在晶圓測試的開始區(qū)域，正確寫入映射關(guān)系的芯片應為一個以上。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟2)中，位置A信息包含一個二維的坐標信息。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟3)中，探針臺系統(tǒng)讀取的芯片的標志位信息不正確，則移到下一個位置確認目標芯片，重復步驟3)。