[發明專利]光致抗蝕劑剝離液組合物有效
| 申請號： | 201310363319.6 | 申請日： | 2013-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN103631103B | 公開（公告）日： | 2019-07-19 |
| 發明（設計）人： | 許舜范;金炳郁;趙泰杓;尹錫壹;鄭世桓;張斗瑛;樸善周 | 申請（專利權）人： | 株式會社東進世美肯 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 鐘晶;於毓楨 |
| 地址： | 韓國仁*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光致抗蝕劑 剝離 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種光致抗蝕劑剝離液組合物，包含：
10至65重量％的N,N-二甲基丙酰胺、1至15重量％的環狀胺類、10至68重量％的質子極性溶劑、及20至40重量％的超純水，
其中，所述光致抗蝕劑剝離液組合物不包含NMP。
2.根據權利要求1所述的光致抗蝕劑剝離液組合物，其中，
所述質子極性溶劑為選自乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、三乙二醇丁醚、及二乙二醇二甲醚中的一種以上化合物。
3.根據權利要求1所述的光致抗蝕劑剝離液組合物，其中，
所述環狀胺為選自1-(2-羥乙基)哌嗪、1-(2-氨乙基)哌嗪、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、N-(3-氨丙基)嗎啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、及1-苯基哌嗪中的一種以上化合物。
4.根據權利要求1所述的光致抗蝕劑剝離液組合物，包含：
10至65重量％的N,N-二甲基丙酰胺、1至15重量％的1-(2-羥乙基)哌嗪、10至68重量％的二乙二醇甲醚、及20至40重量％的超純水。
5.根據權利要求1所述的光致抗蝕劑剝離液組合物，其中,
相對于100重量份的總剝離液組合物，還包含0.01至10重量份的防腐劑。
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