[發明專利]光電轉換器件的光電測試系統

在審

• 申請號: 201310359282.X
• 申請日: 2013-08-16
• 公開（公告）號: CN103398836A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 葉紅波;王勇
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及光電測試領域，具體為一種應用于光電轉換器件的光電測試系統。

背景技術

光電轉換器件是光學相機的重要組成部分，其利用光電轉換原理把目標景物輻射信息直接轉換為電信號，從而實現非電量的電測量。根據元件的不同，光電轉換器件可分為CCD（Charge?Coupled?Device，電荷耦合元件）圖像傳感器和CMOS圖像傳感器（Complementary?Metal-Oxide?Semiconductor，金屬氧化物半導體元件）兩大類。由于CCD具有靈敏度高、光譜響應范圍寬、動態范圍大、工作速度快、測量精度高等諸多優點，受到人們的高度重視并得到廣泛應用。近年來，隨著CMOS技術在大規模生產中的應用，基于CMOS技術的許多產品在成本方面體現出越來越多的優勢。尤其隨著CMOS技術特征尺寸的不斷降低（scaling?down），單位面積芯片的成本也在不斷減小。因此，得益于此，CMOS圖像傳感器比CCD圖像傳感器表現出更強的競爭力。

伴隨著CCD和CMOS的廣泛應用于航空航天、生物醫學、工業、天文觀測等諸多領域，而不同的應用領域對于光電轉換器件的性能指標各有側重，因此，在開發光電轉換器件芯片時，需要對芯片的各個不同方面的性能進行全面的評估，以判斷是否滿足性能要求。其中最重要的轉換增益、動態范圍、線性度、量子效率等特性，都需要在特定的光電測試系統中進行。

因此，需要提供一種光電測試系統以精確測量光電轉換器件的光電性能。

發明內容

本發明的主要目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種具有穩定光源，并且能夠在不同范圍內調節光波長，光強及入射光角度的光電測試系統。

為達成上述目的，本發明提供一種光電轉換器件的光電測試系統，其包括積分球，其球壁上設有出光口；光源，設置于所述積分球內；轉輪組，包括垂直且相互平行間隔設置的多個轉輪，每一所述轉輪分布有多個通光孔，所述通光孔中固定濾波片或衰減片；每一所述轉輪旋轉以使其中一個所述通光孔對準所述出光口；位置調整機構，其包括：導軌；升降臺，安裝于所述導軌上且沿所述導軌移動以遠離或靠近所述轉輪組；旋轉盤，可旋轉地安裝于所述升降臺上，用以帶動所述光電轉換器件旋轉，其中所述光電轉換器件與所述旋轉盤固定連接且垂直于所述旋轉盤的表面；驅動機構，用于驅動所述升降臺在垂直方向升降、在水平方向沿所述導軌移動，以及驅動所述旋轉盤旋轉；以及數據采集模塊，與所述光電轉換器件電性相連，用于采集所述光電轉換器件產生的電信號。

優選的，所述位置調整結構還包括固定件，所述固定件包括與所述旋轉盤固定連接的水平部以及垂直于所述旋轉盤的垂直部，所述垂直部具有用于固定所述光電轉換器件的垂直面。

優選的，所述光電測試系統還包括光波光強測試儀，其設置于所述垂直面鄰近于所述光電轉換器件處，用于探測所述光電轉換器件處的光波和光強。

優選的，所述光波光強測試儀設置于所述光電轉換器件上方或下方，所述驅動機構驅動所述升降臺沿垂直方向移動，以使所述光波光強測試儀對準所述出光口。

優選的，所述光波光強測試儀設置于所述光電轉換器件等高度的左側或右側，所述驅動機構驅動所述旋轉盤旋轉以使所述光波光強測試儀對準所述出光口，并驅動所述升降臺沿所述導軌移動以使所述光波光強測試儀位于所述旋轉盤旋轉前所述光電轉換器件所處位置。

優選的，所述位置調整機構安裝于避光箱內，所述避光箱箱壁對應于所述出光口的位置具有透光窗。

優選的，所述轉輪組安裝于避光箱內，所述避光箱相對的箱壁上對應于所述出光口的位置具有透光窗。

優選的，所述光源為多個，用以提供不同色溫的光源。

優選的，所述光源由鹵鎢燈或者LED燈提供。

優選的，所述出光口與所述通光孔的直徑相同。

本發明的優點在于光電測試系統能夠提供穩定的光源，且通過轉輪組及位置調整機構可同時實現光強、波長以及光電轉換器件感光面角度的調節。

附圖說明

圖1為本發明一實施例光電測試系統的結構示意圖；

圖2為本發明一實施例光電測試系統的積分球的示意圖；

圖3為本發明一實施例光電測試系統的轉輪組的示意圖；

圖4為本發明一實施例光電測試系統的位置調整結構的示意圖。

具體實施方式