[發明專利]一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心

在審

• 申請號: 201310354455.9
• 申請日: 2013-08-15
• 公開（公告）號: CN104372290A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 魏志凌;寧軍
• 申請（專利權）人: 昆山思拓機器有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于大平面顯示行業，涉及OLED顯示屏產業，尤其涉及一種OLED?Metal?Mask制作裝備。?

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背景技術

OLED是下一代的顯示技術，與目前使用的LCD顯示技術相比，具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術。OLED顯示屏制作過程中，有一道有機發光體蒸鍍工藝，需要用到高精度的OLED?Metal?Mask作為蒸鍍模板，OLED?Metal?Mask的質量對顯示屏的質量、成品率有極大影響，在OLED顯示屏行業，OLED?Metal?Mask是制約OLED屏發展的關鍵因素。?

OLED?Metal?Mask典型的結構包含2個部分：一部分是金屬框、另一部分是帶有精密圖形的金屬片材。金屬框提供結構支撐，金屬片材上的精密圖形為蒸鍍圖形轉印的基準。?

傳統的OLED?Metal?Mask采用化學蝕刻的方法，在金屬片材上制作精密的圖形，再采用專用的張網機把片材張緊繃平，采用焊接機把張緊繃平的片材焊接到金屬框上。?

傳統的OLED?Metal?Mask生產工藝路線如圖一所示，其中：?

圖形轉印：采用高精度的光學曝光設備，把數字化的圖形設計文件精密地轉印到材料上，這一步是第一步，也是圖形精度的來源。這一步包含了若干設備，如光刻設備、貼膜設備等。其中，光刻設備非常昂貴，如半導體的光刻機屬于這一類設備。

蝕刻/電鑄：這是一道電化學生產工藝，經過圖形轉印后的材料，經過電化學工藝后，生成帶有精密圖形的金屬片材。這一道工藝設備有電化學蝕刻線或者電化學電鑄線，工藝參數眾多，要保證圖形精度非常困難。?

繃網：對上道工藝完成的帶有精密圖形的金屬片材進行展平，通常采用四邊或兩邊繃拉的方式。由于片材厚度很薄，在受力的時候，會出現拉伸變形，因此會對圖形的精度造成影響，此道工藝內要保證圖形精度是非常困難的。并且由于OLED屏幕越做越大，OLED?Metal?Mask的幅面也越做越大，繃網工藝要在大幅面內保證圖形精度，也越來越困難。?

焊接：此道工藝把繃網展平的精密金屬片材焊接到金屬框上，以金屬框的剛性來保持片材的形狀精度不發生變化。?

檢驗：成品的檢驗，包含開口位置精度、尺寸精度以及片材的下垂量。?

包裝出貨：經過檢驗的成品，包裝出貨。?

顯而易見，目前工藝方式存在以下2個問題：?

1.工藝鏈過長

2.工藝鏈中，每一道工藝都對產品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產品質量，必須在每一道工藝中進行非常精細的控制，并且對所使用的工藝設備也有很高的要求。整個工藝鏈難度過大。

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發明內容

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本發明提供了一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網組件、精度測量裝置、下垂量測量裝置、機臺、運動導軌，其特征在于，所述繃網組件固定安裝在所述機臺上，所述運動導軌包括Y軸導軌和X軸導軌以及Z軸導軌，所述Y軸導軌固定安裝在所述機臺上，所述X軸導軌安裝在所述Y軸導軌上，可在所述Y軸導軌上進行Y軸方向的運動，所述Z軸導軌安裝在所述X軸導軌上，所述Z軸導軌可以在X軸導軌上進行運動，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測量裝置、下垂量測量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導軌上，既可隨Z軸導軌在X軸導軌、Y軸導軌上進行X、Y軸向的運動，也可以在Z軸導軌上做Z軸方向的運動。?

根據本專利背景技術中所述，目前采用的工藝技術具有工藝鏈過長，工藝鏈中，每一道工藝都對產品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產品質量，必須在每一道工藝中進行非常精細的控制，并且對所使用的工藝設備也有很高的要求，整個工藝鏈難度過大；因此有必要對工藝過程進行必要的改進和簡化，本發明提供的金屬掩膜板集成裝配檢測中心可以一次定位，極大縮短了原有工藝鏈，降低了工藝難度，提高了成品率，降低了OLED?Metal?Mask的生產成本，縮短交貨期，新型的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測中心可實現在一臺設備上實現新工藝路線，效率更高，更便捷，節約能源，減少污染。?

本發明提供的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測中心，具有5種核心功能：激光焊接、激光切割、自動繃網、精度測量、下垂量測量，?

采用該設備，可以采用新的工藝路線進行OLED?Metal?Mask的生產，如圖2所示。

繃網/焊接/切割/精度測量/下垂量測量：此道工藝的過程如下：?