[發(fā)明專利]一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310354455.9
• 申請日: 2013-08-15
• 公開（公告）號: CN104372290A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏志凌;寧軍
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山思拓機器有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網(wǎng)組件、精度測量裝置、下垂量測量裝置、機臺、運動導(dǎo)軌，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機臺上，所述運動導(dǎo)軌包括Y軸導(dǎo)軌和X軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌固定安裝在所述機臺上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，可在所述Y軸導(dǎo)軌上進行Y軸方向的運動，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進行運動，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測量裝置、下垂量測量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，既可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進行X、Y軸向的運動，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測中心還包括橫梁，所述橫梁安裝在Y軸導(dǎo)軌上，而X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，使X軸導(dǎo)軌間接安裝在Y軸導(dǎo)軌上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測中心還包括X/Z軸平板，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述X/Z軸平板安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，使Z軸導(dǎo)軌間接安裝在X軸導(dǎo)軌上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測中心還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機臺上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述機臺包括花崗石平臺和基座，所述花崗石平臺安裝在所述基座上，所述基座直接與支撐基地接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述激光焊接裝置包括激光焊接頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述激光切割裝置包括激光切割頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述精度測量裝置包括機器視覺組件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測中心，其特征在于，所述下垂量測量裝置包括激光位移傳感器。