[發明專利]同性氣體的輸送系統

無效

• 申請號: 201310354362.6
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN104373811A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 胡昌勇;何先明;王漢剛
• 申請（專利權）人: 上海聚鼎半導體設備有限公司
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00;F17C13/04;F17C13/02
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

技術領域

本發明涉及氣體的輸送系統，特別涉及同性氣體的輸送系統。

背景技術

氣體輸送設備在各工業部門應用極為廣泛，氣體源瓶通常單獨設在在柜體內，如有多種性質相同的氣體，通常分別置放于多個氣柜內，其成本費用比較高，整體暫用空間較大，如氣體源瓶發生故障，需要及時的更換氣體源瓶，因此，對現有的同性氣體的輸送系統進行改進是本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

本發明目的是克服上述缺陷，提供同性氣體的輸送系統，整體空間縮小，節約成本。

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供同性氣體的輸送系統，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。

上述的同性氣體的輸送系統，其中，所述第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶、第一壓力表、第一氣動隔膜閥、調壓閥、第二壓力表、第二氣動隔膜閥、手動隔膜閥，鋼瓶連接第一壓力表、第一氣動隔膜閥；第一氣動隔膜閥與調壓閥的進口連接，調壓閥的出口與第二壓力表、第二氣動隔膜閥、手動隔膜閥連接。

上述的同性氣體的輸送系統，其中，所述第一氣動隔膜閥進口端和第二氣動隔膜閥的進口端分別設有用于過濾氣體的過濾器。

上述的同性氣體的輸送系統，其中，所述第一氣動隔膜閥進口端的過濾器為墊片式過濾器。

上述的同性氣體的輸送系統，其中，所述第二氣動隔膜閥的進口端的過濾器為管線式過濾器。

上述的同性氣體的輸送系統，其中，所述鋼瓶為圓筒形，頂部設有鋼瓶閥。

本發明提供的同性氣體的輸送系統，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實現連續供氣，提高產品質量和工藝的穩定性，大大降低生產和物流成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有的同性氣體的輸送系統的結構示意圖。

圖2為本發明的同性氣體的輸送系統的結構示意圖。

其中，1、第一壓力表；2、第一氣動隔膜閥；3、調壓閥；4、第二壓力表；5、第二氣動隔膜閥；6、手動隔膜閥；7、墊片式過濾器；8、管線式過濾器；9、鋼瓶。

具體實施方式

本發明提供了同性氣體的輸送系統，為了使本發明的目的、技術方案以及優點更清楚、明確，以下將結合附圖及實施例對本發明作進一步說明。

如圖1所示的現有的氣體的輸送系統，包括一個輸送裝置，所述的輸送裝置包括鋼瓶9、第一壓力表1、第一氣動隔膜閥2、調壓閥3、第二壓力表4、第二氣動隔膜閥5、手動隔膜閥6，鋼瓶9連接第一壓力表1、第一氣動隔膜閥2、第一氣動隔膜閥2與調壓閥3的進口連接，調壓閥3的出口與第二壓力表4、第二氣動隔膜閥5、手動隔膜閥6連接。

如圖2所示的本發明提供的同性氣體的輸送系統，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。

其中，第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶9、第一壓力表1、第一氣動隔膜閥2、調壓閥3、第二壓力表4、第二氣動隔膜閥5、手動隔膜閥6，鋼瓶9連接第一壓力表1、第一氣動隔膜閥2、第一氣動隔膜閥2與調壓閥3的進口連接，調壓閥3的出口與第二壓力表4、第二氣動隔膜閥5、手動隔膜閥6連接。

為了進一步提高本發明，所述第一氣動隔膜閥2進口端和第二氣動隔膜閥5的進口端分別設有用于過濾氣體的過濾器；其中，所述第一氣動隔膜閥2進口端的過濾器為墊片式過濾器7；所述第二氣動隔膜閥5的進口端的過濾器為管線式過濾器8。

為了進一步提高本發明，所述鋼瓶9為圓筒形，頂部設有鋼瓶閥。