[發明專利]同性氣體的輸送系統

無效

• 申請號: 201310354362.6
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN104373811A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 胡昌勇;何先明;王漢剛
• 申請（專利權）人: 上海聚鼎半導體設備有限公司
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00;F17C13/04;F17C13/02
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

1.同性氣體的輸送系統，包括第一輸送裝置，其特征在于：所述的輸送系統還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。

2.根據權利要求1所述的同性氣體的輸送系統，其特征在于：所述第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶、第一壓力表、第一氣動隔膜閥、調壓閥、第二壓力表、第二氣動隔膜閥、手動隔膜閥，鋼瓶連接第一壓力表、第一氣動隔膜閥；第一氣動隔膜閥與調壓閥的進口連接，調壓閥的出口與第二壓力表、第二氣動隔膜閥、手動隔膜閥連接。

3.根據權利要求2所述的同性氣體的輸送系統，其特征在于：所述第一氣動隔膜閥進口端和第二氣動隔膜閥的進口端分別設有用于過濾氣體的過濾器。

4.根據權利要求3所述的同性氣體的輸送系統，其特征在于：所述第一氣動隔膜閥進口端的過濾器為墊片式過濾器。

5.根據權利要求3所述的同性氣體的輸送系統，其特征在于：所述第二氣動隔膜閥的進口端的過濾器為管線式過濾器。

6.根據權利要求2所述的同性氣體的輸送系統，其特征在于：所述鋼瓶為圓筒形，頂部設有鋼瓶閥。