[發(fā)明專利]一種數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310353714.6
• 申請(qǐng)日: 2013-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN103412542A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宏;馬鑫;林躍;康凱;姬小兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，具體地說是是應(yīng)用統(tǒng)計(jì)過程控制對(duì)集成電路工藝設(shè)備加工過程中出現(xiàn)的異常進(jìn)行預(yù)警的技術(shù)。

背景技術(shù)

統(tǒng)計(jì)過程控制（SPC）自1924年5月16日休哈特博士在貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明第一張控制圖P圖以來，已經(jīng)有80多年的歷史。SPC根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量的統(tǒng)計(jì)觀點(diǎn)，運(yùn)用數(shù)理統(tǒng)計(jì)學(xué)的方法，對(duì)實(shí)際生產(chǎn)制造過程中的質(zhì)量特性數(shù)據(jù)進(jìn)行收集，分析和研究其統(tǒng)計(jì)特性，從而了解、預(yù)測(cè)和監(jiān)控過程的運(yùn)行狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)和排除質(zhì)量問題，從而達(dá)到控制、改進(jìn)產(chǎn)品質(zhì)量的目的。

其中，控制圖是一種圖形方法，它提供表征當(dāng)前狀態(tài)的樣本序列信息，并將這些信息與考慮了過程固有變異后所建立的控制限進(jìn)行對(duì)比。控制圖法用來幫助評(píng)估一個(gè)過程是否已達(dá)到或繼續(xù)保持在規(guī)定水平的統(tǒng)計(jì)受控狀態(tài)，即在生產(chǎn)過程中，通過對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的連續(xù)記錄，來獲得并保持對(duì)重要產(chǎn)品或服務(wù)特性的控制。應(yīng)用并仔細(xì)分析控制圖，可以更好地了解和改進(jìn)過程。對(duì)監(jiān)控到產(chǎn)品在失控狀態(tài)下出現(xiàn)的波動(dòng)進(jìn)行及時(shí)分析并處理，使生產(chǎn)過程一直處于正常的生產(chǎn)過程中。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本發(fā)明采用的是一種數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的所采用的技術(shù)方案是：

一種數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，包括如下步驟：

步驟1，對(duì)于處于受控狀態(tài)下的集成電路工藝設(shè)備，系統(tǒng)對(duì)設(shè)備的加工產(chǎn)品特性質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)控并根據(jù)監(jiān)測(cè)出的異常對(duì)設(shè)備提出預(yù)警；

步驟2，系統(tǒng)首先從歷史數(shù)據(jù)庫(kù)中隨機(jī)讀取若干設(shè)備加工工藝關(guān)鍵監(jiān)控參數(shù)樣本值，對(duì)參數(shù)樣本值進(jìn)行預(yù)處理；計(jì)算樣本值的均值與方差，根據(jù)均值和方差確定參數(shù)值的統(tǒng)計(jì)過程控制界限；系統(tǒng)利用統(tǒng)計(jì)過程控制界限構(gòu)造出統(tǒng)計(jì)過程控制圖；

步驟3，系統(tǒng)在設(shè)備上不間斷的采集質(zhì)量參數(shù)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，并對(duì)實(shí)時(shí)采集的參數(shù)進(jìn)行處理；數(shù)據(jù)處理后使用統(tǒng)計(jì)過程控制圖對(duì)參數(shù)值進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，并在有異常狀況時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的處理；系統(tǒng)同時(shí)將采集到的數(shù)據(jù)存入歷史數(shù)據(jù)庫(kù)中。

步驟3中，系統(tǒng)使用統(tǒng)計(jì)過程控制圖對(duì)設(shè)備參數(shù)值進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，并在有異常狀況時(shí)，使用統(tǒng)計(jì)過程控制圖確定質(zhì)量參數(shù)值是否在可控范圍內(nèi)；當(dāng)采集的參數(shù)值始終處于不可控狀態(tài)時(shí)，系統(tǒng)提示設(shè)備加工過程錯(cuò)誤并產(chǎn)生報(bào)警信息，操作人員及時(shí)采取措施消除不可控狀態(tài)。

步驟3中，使用統(tǒng)計(jì)過程控制圖確定質(zhì)量參數(shù)值是否在可控范圍內(nèi)；當(dāng)質(zhì)量參數(shù)處于失控范圍時(shí)，系統(tǒng)提示錯(cuò)誤并報(bào)警；當(dāng)質(zhì)量參數(shù)在可控范圍內(nèi)時(shí)，系統(tǒng)判斷設(shè)備是否處于失控狀態(tài)，如果設(shè)備處于失控狀態(tài)，則利用離線統(tǒng)計(jì)過程控制方法，找出影響參數(shù)值的主要影響參數(shù)并提示錯(cuò)誤并報(bào)警，操作人員采取措施消除影響；系統(tǒng)進(jìn)行下一次數(shù)據(jù)采集監(jiān)測(cè)。

判斷設(shè)備是否處于失控狀態(tài)，當(dāng)判斷設(shè)備并處于可控狀態(tài)時(shí)，失控點(diǎn)只是單獨(dú)一個(gè)失控點(diǎn)，則能確定系統(tǒng)仍然在可控狀態(tài)，系統(tǒng)繼續(xù)對(duì)設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)控。

利用離線統(tǒng)計(jì)過程控制方法，找出影響參數(shù)值的主要影響參數(shù)并加以控制，首先要確定可以影響質(zhì)量參數(shù)的因素，對(duì)于能夠直接發(fā)現(xiàn)或確定的影響因素，可以直接向操作人員給出改正意見；對(duì)于不能直接發(fā)現(xiàn)或確定的影響因素，系統(tǒng)使用貢獻(xiàn)圖對(duì)能夠影響到質(zhì)量參數(shù)的因素的影響大小進(jìn)行排序，給出操作人員可以在哪些影響因素做出修正以改變質(zhì)量參數(shù)的趨勢(shì)。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明方法使用統(tǒng)計(jì)過程控制對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控，不斷采集監(jiān)控設(shè)備工藝關(guān)鍵參數(shù)，在關(guān)鍵參數(shù)出現(xiàn)異常的情況下，對(duì)設(shè)備產(chǎn)生預(yù)警，在線統(tǒng)計(jì)過程控制可以在加工過程的產(chǎn)品質(zhì)量還未出現(xiàn)異常，但加工過程已經(jīng)不可控時(shí)產(chǎn)生預(yù)警，從而最大程度的減少由于加工過程變?yōu)椴豢煽貭顟B(tài)而帶來的損失。在產(chǎn)生異常的情況下，利用離線統(tǒng)計(jì)過程控制方法可以快速的確定使系統(tǒng)不受控的因素，為操作人員解決問題提供有效的參考。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的系統(tǒng)控制流程圖；

圖2為參數(shù)數(shù)據(jù)在線監(jiān)控流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖圖1、2及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

一種數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，包括如下步驟：

步驟1，對(duì)于處于受控狀態(tài)下的集成電路工藝設(shè)備，系統(tǒng)對(duì)設(shè)備的加工產(chǎn)品特性質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)控并根據(jù)監(jiān)測(cè)出的異常對(duì)設(shè)備提出預(yù)警；受控狀態(tài)是指在設(shè)備工作狀態(tài)穩(wěn)定、加工出的產(chǎn)品的特性質(zhì)量符合要求，對(duì)與可以控制的能夠?qū)υO(shè)備加工質(zhì)量有波動(dòng)影響的因素都已經(jīng)被消除。