[發(fā)明專利]一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310353714.6
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN103412542A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王宏;馬鑫;林躍;康凱;姬小兵
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

1.一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，基于生產(chǎn)加工系統(tǒng)，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1，對于處于受控狀態(tài)下的集成電路工藝設(shè)備，系統(tǒng)對設(shè)備的加工產(chǎn)品特性質(zhì)量進行監(jiān)控并根據(jù)監(jiān)測出的異常對設(shè)備提出預(yù)警；

步驟2，系統(tǒng)首先從歷史數(shù)據(jù)庫中隨機讀取若干設(shè)備加工工藝關(guān)鍵監(jiān)控參數(shù)樣本值，對參數(shù)樣本值進行預(yù)處理；計算樣本值的均值與方差，根據(jù)均值和方差確定參數(shù)值的統(tǒng)計過程控制界限；系統(tǒng)利用統(tǒng)計過程控制界限構(gòu)造出統(tǒng)計過程控制圖；

步驟3，系統(tǒng)在設(shè)備上不間斷的采集質(zhì)量參數(shù)實時數(shù)據(jù)，并對實時采集的參數(shù)進行處理；數(shù)據(jù)處理后使用統(tǒng)計過程控制圖對參數(shù)值進行實時監(jiān)控，并在有異常狀況時進行相應(yīng)的處理；系統(tǒng)同時將采集到的數(shù)據(jù)存入歷史數(shù)據(jù)庫中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，其特征在于：步驟3中，系統(tǒng)使用統(tǒng)計過程控制圖對設(shè)備參數(shù)值進行實時監(jiān)控，并在有異常狀況時，使用統(tǒng)計過程控制圖確定質(zhì)量參數(shù)值是否在可控范圍內(nèi)；當(dāng)采集的參數(shù)值始終處于不可控狀態(tài)時，系統(tǒng)提示設(shè)備加工過程錯誤并產(chǎn)生報警信息，操作人員及時采取措施消除不可控狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，其特征在于：步驟3中，使用統(tǒng)計過程控制圖確定質(zhì)量參數(shù)值是否在可控范圍內(nèi)；當(dāng)質(zhì)量參數(shù)處于失控范圍時，系統(tǒng)提示錯誤并報警；當(dāng)質(zhì)量參數(shù)在可控范圍內(nèi)時，系統(tǒng)判斷設(shè)備是否處于失控狀態(tài)，如果設(shè)備處于失控狀態(tài)，則利用離線統(tǒng)計過程控制方法，找出影響參數(shù)值的主要影響參數(shù)并提示錯誤并報警，操作人員采取措施消除影響；系統(tǒng)進行下一次數(shù)據(jù)采集監(jiān)測。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，其特征在于：判斷設(shè)備是否處于失控狀態(tài)，當(dāng)判斷設(shè)備并處于可控狀態(tài)時，失控點只是單獨一個失控點，則能確定系統(tǒng)仍然在可控狀態(tài)，系統(tǒng)繼續(xù)對設(shè)備數(shù)據(jù)進行監(jiān)控。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種數(shù)據(jù)驅(qū)動的集成電路工藝設(shè)備異常預(yù)警技術(shù)方法，其特征在于：利用離線統(tǒng)計過程控制方法，找出影響參數(shù)值的主要影響參數(shù)并加以控制，首先要確定可以影響質(zhì)量參數(shù)的因素，對于能夠直接發(fā)現(xiàn)或確定的影響因素，可以直接向操作人員給出改正意見；對于不能直接發(fā)現(xiàn)或確定的影響因素，系統(tǒng)使用貢獻圖對能夠影響到質(zhì)量參數(shù)的因素的影響大小進行排序，給出操作人員可以在哪些影響因素做出修正以改變質(zhì)量參數(shù)的趨勢。