[發明專利]一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝

有效

• 申請號: 201310345734.9
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN104148312A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 李巖;李兆廷;朱華;郭婷婷
• 申請（專利權）人: 成都旭雙太陽能科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;H01L31/18
• 代理公司: 石家莊眾志華清知識產權事務所(特殊普通合伙) 13123
• 代理人: 王苑祥

1.一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：本工藝是借助在TCO基板玻璃傳送輥（9）上依次設置的預噴淋清洗腔室（1）、高壓噴淋清洗腔室（2）、緩沖腔室（3）、二次噴淋清洗腔室（8）、漂洗腔室（4）及烘干腔室（5）實現的，所述的工藝步驟中包括：

A、預噴淋清洗：將預噴淋清洗腔室（1）控制在常溫狀態下，將去離子水作為清洗液、將在TCO基板玻璃傳送輥上、下方90-110mm處分別設置的一組噴嘴組件作為清洗工具進行預噴淋，其中，每組噴嘴組件中包括18-25個扇形噴嘴，每個噴嘴在0.12-0.16Mpa壓力下的流量為1-1.1?L/Min；

B、高壓噴淋清洗：將高壓噴淋清洗腔室（2）控制在常溫狀態下，以去離子水作為清洗劑、將在傳送輥上方90-110mm處分別設置的一組噴嘴組件作為清洗工具進行噴淋清洗，其中，每組噴嘴組件中包括18-25個扇形噴嘴，每個噴嘴在2-3.5Mpa壓力下的流量為1.81-2.37?L/Min；

C、瀝水：將緩沖腔室控制在常溫狀態，借助傳送輥將基板玻璃從緩沖腔室的入口送至出口，再此過程中，基板玻璃上殘留的水分落至腔室底部以清除高壓噴淋清洗后殘留的水分；

D、二次噴淋清洗：將二次噴淋清洗腔室（8）控制在常溫下，將去離子水作為噴淋液、將在傳送輥上、下方90-110mm處分別設置的一組噴嘴組件作為清洗工具進行噴淋，其中，每組噴嘴組件中包括18-25個扇形噴嘴，每個噴嘴在0.3-0.4Mpa壓力下的流量為1-1.15?L/Min；

E、漂洗：在漂洗腔室（4）中，將TCO基板玻璃上、下表面漂凈；

F、烘干：在烘干腔室（5）中，將TCO基板玻璃上、下表面烘干，完成整個清洗工藝過程。

2.根據權利要求1所述的一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：所述的二次噴淋清洗腔室（8）的數量為2個，依次設置于緩沖腔室（3）之后、漂洗腔室（4）之前。

3.根據權利要求1所述的一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：所述的漂洗腔室（4）的數量為2個，依次設置于二次噴淋清洗腔室（8）之后、烘干腔室（5）之前，將漂洗腔室（4）控制在常溫下，以去離子水作為漂洗劑、將經過再次噴淋工序后的TCO基板玻璃傳送輥上、下方90-110mm處分別設置的一組噴嘴組件作為清洗工具進行漂洗，其中，每組噴嘴組件中包括15-20個、1/4寸口徑的、噴射角度為90°的扇形噴嘴，每個噴嘴在0.12-0.16Mpa壓力下的流量為1-1.15?L/Min。

4.根據權利要求1所述的一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：所述的烘干腔室（5）的數量為2個，依次設置于漂洗腔室（4）之后，在此基礎上，所述的烘干工序步驟中包括：

E1、一級風刀吹掃烘干：在第一烘干腔室（5-1）中進行，利用傳送輥上、下方0-8mm處分別設置的一級風刀（7）進行烘干，其中，一級風刀（7）與TCO基板玻璃行進方向的夾角為60°-80°，吹出的風溫度為25~50℃，風量為200~700m³?/h；

E2、二級風刀吹掃烘干：在第二烘干腔室（5-2）中進行，利用傳送輥上、下方0-8mm處分別設置的二級風刀（6）進行烘干，其中，二級風刀（6）與TCO基板玻璃行進方向的夾角為60°-80°，吹出的風溫度為25~80℃，風量為200~700m³?/h。

5.根據權利要求1、或3所述的一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：所述的扇形噴嘴是材質為SUS303、口徑為1/8寸、噴射角度為90°的扇形噴嘴。

6.根據權利要求4所述的一種用于對經過激光刻蝕清邊后TCO基板玻璃的清洗工藝，其特征在于：所述的一級風刀（7）的供風系統結構中包括一級鼓風機（7-1）、及與一級鼓風機風力輸出端連接的一級空氣過濾器（7-2），一級空氣過濾器（7-2）的輸出端與一級風刀（7）的風力輸入端連接。