[發(fā)明專利]懸浮液、研磨液套劑、研磨液、基板的研磨方法及基板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310345238.3 | 申請日： | 2011-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN103409108A | 公開（公告）日： | 2013-11-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 巖野友洋 | 申請（專利權）人： | 日立化成株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本東京都千*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 懸浮液 研磨 液套劑 方法 | ||
1.一種懸浮液，含有磨粒和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長400nm的光的吸光度在1.50以上的物質(zhì)。
2.一種懸浮液，含有磨粒和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長290nm的光的吸光度在1.000以上的物質(zhì)。
3.一種懸浮液，含有磨粒和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長450～600nm的光的吸光度在0.010以下的物質(zhì)。
4.一種研磨液，含有磨粒、添加劑和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長400nm的光的吸光度在1.50以上的物質(zhì)。
5.一種研磨液，含有磨粒、添加劑和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長290nm的光的吸光度在1.000以上的物質(zhì)。
6.一種研磨液，含有磨粒、添加劑和水，其中，
所述磨粒含有4價金屬元素的氫氧化物，
且，所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量%的水分散液，在以1.59×105G的離心加速度離心分離50分鐘時，所形成的液層中的不揮發(fā)成分的含量在500ppm以上的液相的物質(zhì)，并且，在所述磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量%的水分散液中，所述磨粒，是使該水分散液對于波長450～600nm的光的吸光度在0.010以下的物質(zhì)。
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