[發(fā)明專(zhuān)利]激光退火設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310341694.0
• 申請(qǐng)日: 2013-08-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103934568A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸喆鎬;秋秉權(quán);金銀哲;孫希根;尹種鉉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/00
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/00;B23K26/064;B23K26/70;H01L21/67
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;羅延紅

1.一種激光退火設(shè)備，所述激光退火設(shè)備包括：

透鏡單元，被構(gòu)造為使激光束透射為照射到照射目標(biāo)上；

透鏡單元?dú)ぃ菁{透鏡單元并且具有開(kāi)口，所述開(kāi)口被構(gòu)造為允許激光束穿過(guò)所述開(kāi)口；

擋板，被構(gòu)造為阻擋在激光束透射過(guò)透鏡單元到照射目標(biāo)之后被照射目標(biāo)反射的激光束的至少一部分；

冷卻單元，位于擋板和透鏡單元?dú)ぶg。

2.如權(quán)利要求1所述的激光退火設(shè)備，其中，透射過(guò)透鏡單元的激光束以除了0°之外的入射角入射在照射目標(biāo)上。

3.如權(quán)利要求2所述的激光退火設(shè)備，其中，擋板位于透鏡單元?dú)は路讲⑶抑辽俨糠值刈钃醣徽丈淠繕?biāo)反射的激光束朝著透鏡單元?dú)ば羞M(jìn)。

4.如權(quán)利要求3所述的激光退火設(shè)備，其中，冷卻單元包括流體通道，所述流體通道具有入口和出口。

5.如權(quán)利要求3所述的激光退火設(shè)備，其中，冷卻單元具有包含與透鏡單元?dú)さ拈_(kāi)口相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口的板的形狀。

6.如權(quán)利要求5所述的激光退火設(shè)備，其中，冷卻單元在冷卻單元的開(kāi)口的側(cè)部處面接觸擋板。

7.如權(quán)利要求5所述的激光退火設(shè)備，其中，冷卻單元包括殼體接觸單元，所述殼體接觸單元從冷卻單元的邊緣朝著透鏡單元?dú)ね怀霾⑶医佑|透鏡單元?dú)ぁ?/p>

8.如權(quán)利要求7所述的激光退火設(shè)備，其中，殼體接觸單元包圍冷卻單元的邊緣。

9.如權(quán)利要求8所述的激光退火設(shè)備，所述激光退火設(shè)備還包括凈化線(xiàn)路，所述凈化線(xiàn)路利用凈化氣體來(lái)凈化冷卻單元和透鏡單元?dú)ぶg的空間。

10.如權(quán)利要求9所述的激光退火設(shè)備，其中，凈化線(xiàn)路經(jīng)由殼體接觸單元凈化冷卻單元和透鏡單元?dú)ぶg的空間。

11.如權(quán)利要求5所述的激光退火設(shè)備，所述激光退火設(shè)備還包括冷卻單元位置調(diào)節(jié)單元，所述冷卻單元位置調(diào)節(jié)單元被構(gòu)造為調(diào)節(jié)冷卻單元的位置，以改變冷卻單元的開(kāi)口的位置。

12.如權(quán)利要求3所述的激光退火設(shè)備，其中，冷卻單元接觸擋板的面對(duì)透鏡單元?dú)さ谋砻妗?/p>