[發明專利]一種適用于改善類單晶太陽電池外觀色差問題的制絨工藝

有效

• 申請號: 201310341197.0
• 申請日: 2013-08-07
• 公開（公告）號: CN103413864B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 梅超;張文;黃治國;王鵬;包兵兵;柳杉
• 申請（專利權）人: 上饒光電高科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 江西省專利事務所36100
• 代理人: 楊志宇

1.一種適用于改善類單晶太陽電池外觀色差問題的制絨工藝，其特征為：由下列步驟組成：第一步：堿拋光；第二步：干法制絨。

2.一種適用于改善類單晶太陽電池外觀色差問題的制絨工藝，其特征為：由下列步驟組成：第一步：堿拋光；第二步：干法制絨；

堿拋光的具體工藝步驟：第1步：在槽式清洗機里配置濃度為8-12%的NaOH溶液；第2步：將該NaOH溶液加熱到65-75℃；第3步：將一定多晶區域的類單晶硅片浸入NaOH溶液中反應130-150秒；

干法制絨的具體工藝步驟：第1步：在干法制絨機內采用刻蝕SF₆氣體在900-1100W功率條件下在硅片表面形成平坦的絨面；氣體流量為300-320sccm，壓力為20pa，時間為60s；第2步：采用刻蝕氣體在硅片表面反應形成尖銳的絨面結構，氣體為?Cl₂、O₂、SF₆，流量分別為180-220sccm、350-450sccm、550-650sccm，壓力為10pa，功率為900-1100W，時間為410s；第3步：采用刻蝕氣體優化絨面結構；氣體為?Cl₂、O₂、SF₆，流量分別為90-110sccm、180-220sccm、550-650sccm，壓力為20pa，功率為1800-2200W，時間為180s；第4步：在反應腔內通氧氣在硅片表面形成氧化膜保護層，O₂流量為750-850sccm，壓力為15pa，功率為580-620W，時間為420s。

3.如權利要求2所述的一種適用于改善類單晶太陽電池外觀色差問題的制絨工藝，其特征為：由下列步驟組成：第一步：堿拋光；第二步：干法制絨；

堿拋光的具體工藝步驟：第1步：在槽式清洗機里配置濃度為10%的NaOH溶液；第2步：將該NaOH溶液加熱到70℃；第3步：將一定多晶區域的類單晶硅片浸入NaOH溶液中反應140秒；

干法制絨的具體工藝步驟：第1步：在干法制絨機內采用刻蝕SF₆氣體在1000W功率條件下在硅片表面形成平坦的絨面；氣體流量為310sccm，壓力為20pa，時間為60s；第2步：采用刻蝕氣體在硅片表面反應形成尖銳的絨面結構，氣體為?Cl₂、O₂、SF₆，流量分別為200sccm、400sccm、600sccm，壓力為10pa，功率為1000W，時間為410s；第3步：采用刻蝕氣體優化絨面結構；氣體為?Cl₂、O₂、SF₆，流量分別為100sccm、200sccm、600sccm，壓力為20pa，功率為2000W，時間為180s；第4步：在反應腔內通氧氣在硅片表面形成氧化膜保護層，O₂流量為800sccm，壓力為15pa，功率為600W，時間為420s。