[發(fā)明專利]自動(dòng)化系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310337167.2
• 申請(qǐng)日: 2013-08-05
• 公開（公告）號(hào): CN103441088A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 年四軍;周楊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中航（重慶）微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種自動(dòng)化系統(tǒng)，應(yīng)用于不具有通信系統(tǒng)的半導(dǎo)體設(shè)備上，其特征在于，所述自動(dòng)化系統(tǒng)包括：光學(xué)字符識(shí)別裝置、放置有晶圓盒的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置和存儲(chǔ)有標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息的設(shè)備自動(dòng)控制模塊；

所述光學(xué)字符識(shí)別裝置獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備上的生產(chǎn)參數(shù)信息，并將所述生產(chǎn)參數(shù)信息傳輸至所述設(shè)備自動(dòng)控制模塊；

所述設(shè)備自動(dòng)控制模塊將接收到的生產(chǎn)參數(shù)信息與所述標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)操作，并將該比對(duì)操作的比對(duì)信息發(fā)送至所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置；

所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置根據(jù)接收到的比對(duì)信息將所述晶圓盒傳送至所述半導(dǎo)體設(shè)備上或者保持所述晶圓盒的初始狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)字符識(shí)別裝置包括攝像頭和微處理器。

3.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括一顯示裝置，所述生產(chǎn)參數(shù)信息通過所述顯示裝置進(jìn)行顯示；

所述攝像頭與所述顯示裝置對(duì)應(yīng)放置，以獲取該顯示裝置顯示的圖形信息，并將獲取的所述圖形信息傳送至所述微處理器進(jìn)行處理。

4.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述自動(dòng)化系統(tǒng)還包括一外置顯示裝置，所述生產(chǎn)參數(shù)信息通過所述外置顯示裝置進(jìn)行顯示；

所述攝像頭與所述顯示裝置對(duì)應(yīng)放置，以獲取該顯示裝置顯示的圖形信息，并將獲取的所述圖形信息傳送至所述微處理器進(jìn)行處理。

5.如權(quán)利要求1所述的的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述生產(chǎn)參數(shù)信息包括產(chǎn)品編號(hào)信息和工藝配方名稱信息。

6.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述比對(duì)信息為所述生產(chǎn)參數(shù)信息與所述標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息一致的信息或所述生產(chǎn)參數(shù)信息與所述標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息不一致的信息。

7.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述比對(duì)信息為所述生產(chǎn)參數(shù)信息與所述標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息一致時(shí)，所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置將所述晶圓盒傳送至所述半導(dǎo)體設(shè)備上。

8.如權(quán)利要求6所述的舊型設(shè)備的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述比對(duì)信息為所述生產(chǎn)參數(shù)信息與所述標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)信息不一致時(shí)，所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置保持所述晶圓盒的初始狀態(tài)。

9.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面裝置包括機(jī)械手臂和承載臺(tái)；

其中，所述承載臺(tái)上放置有所述晶圓盒。

10.如權(quán)利要求9所述的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手臂能夠?qū)⑺鼍A盒傳送至半導(dǎo)體設(shè)備上。