[發(fā)明專利]光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310322690.8
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN103399387A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭海峰;鞏巖;何欣;陳華男;李顯凌;倪明陽
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及深紫外投影光刻物鏡裝調(diào)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可用于光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的支撐裝置。

背景技術(shù)

投影光刻裝備是大規(guī)模集成電路制造生產(chǎn)線中的核心設(shè)備之一，近年來，隨著集成電路線寬精細(xì)程度需求的不斷提高，投影光學(xué)裝備的分辨率亦逐漸提高，波長193.368nm的ArF準(zhǔn)分子激光器投影光刻裝備成為90nm、65nm和45nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造的主流裝備。

投影光刻物鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與裝配前和過程中，對光學(xué)元件檢測的重復(fù)性要求很高，需要光學(xué)元件在被檢測工裝支撐過程中受力盡量均勻，以盡量少受支撐力的影響，同時需要對光學(xué)元件位置實(shí)現(xiàn)微調(diào)。現(xiàn)有技術(shù)采用機(jī)械金屬件為主要部件的剛性夾持方式，由于其夾持鏡片力較為集中，難以同時實(shí)現(xiàn)支撐力均勻的要求，使光學(xué)元件出現(xiàn)三葉像差和像散。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為解決現(xiàn)有光學(xué)元件檢測裝置中剛性夾持方式存在的對光學(xué)元件面型影響大、支撐力不均勻的問題，提供一種光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置。

本發(fā)明解決問題的技術(shù)方案為，光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置，包括光學(xué)元件、多個氣囊、底座、充氣管和轉(zhuǎn)接頭；光學(xué)元件放置于多個氣囊上；所述的多個氣囊在底座上面沿圓周均勻分布設(shè)置；氣囊通過轉(zhuǎn)接頭與充氣管相連接。

所述氣囊包括氣袋，底部兩側(cè)設(shè)置兩排螺紋孔，底部設(shè)置進(jìn)氣孔；底座包括長孔、螺釘孔、減重孔和凹槽；氣囊的進(jìn)氣孔伸入底座的長孔內(nèi)；所述的氣囊底部的螺紋孔與底座上的螺釘孔通過螺釘相連接；減重孔設(shè)置在底座中心圓形區(qū)域；凹槽與充氣管配合。

本發(fā)明的有益效果：氣囊支撐光學(xué)元件時，多個氣源通過導(dǎo)氣管給各氣囊充氣，氣囊的反作用力作用在光學(xué)元件的最外一圈環(huán)面上；需要微動調(diào)整時，各氣囊的氣源改變充氣流量以改變其內(nèi)部壓強(qiáng)，改變光學(xué)元件與各氣囊的接觸面積，同時帶動光學(xué)元件軸向移動以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)功能。

本發(fā)明兼顧精密的微動調(diào)整并使得光學(xué)元件在被檢測狀態(tài)下受力均勻，可以有效降低調(diào)整力對光學(xué)元件面型的影響；避免機(jī)械夾持光學(xué)元件時出現(xiàn)的三葉像差和像散。

附圖說明

圖1為本發(fā)明光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置示意圖。

圖2為本發(fā)明光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置剖視圖。

圖3為本發(fā)明所述的氣囊及充氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明所述的氣囊結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明所述的底座結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為本發(fā)明所述氣囊另一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、光學(xué)元件，2、氣囊，3、底座，4、氣管，5、轉(zhuǎn)接口，6、螺釘，

3-1、長孔，3-2、螺釘孔，3-3、減重孔，3-4、凹槽，3-5、把手，2-1、氣袋，

2-2、螺紋間隙孔，2-3、進(jìn)氣孔，2-4、圓角。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1-3所示，光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件多氣囊支撐裝置，包括光學(xué)元件1、多個氣囊2、底座3、充氣管4和轉(zhuǎn)接頭5；光學(xué)元件1放置于多個氣囊2上；多個氣囊2在底座3上面沿圓周均勻分布設(shè)置；氣囊2通過轉(zhuǎn)接頭5與充氣管4相連接。氣囊2采用有機(jī)橡膠材料制成。

如圖4所示，氣囊2包括氣袋2-1，底部兩側(cè)設(shè)置螺紋間隙孔2-2用于固定。底部設(shè)置進(jìn)氣孔2-3用于充氣，每個氣囊2配置一充氣管4，充氣管4和閥門、氣源相連。氣袋2-1上面邊緣為圓角2-4。

如圖5所示，底座3包括長孔3-1、螺釘孔3-2、減重孔3-3、凹槽3-4和把手3-5。氣囊2的進(jìn)氣孔2-3伸入底座3的長孔3-1內(nèi)，并通過轉(zhuǎn)接頭5與充氣管4相連接。氣囊2底部的螺紋間隙孔2-2與底座3的螺釘孔3-2通過螺釘6相連接。減重孔3-3設(shè)置于底座3的中心圓形區(qū)域，可使底座重量減輕，便于搬運(yùn)。凹槽3-4與充氣管4配合。把手3-5設(shè)置于底座3兩側(cè)，用于底座3的移動。

如圖6所示，本發(fā)明裝置中氣囊2的螺紋間隙孔2-2處設(shè)計(jì)成長孔結(jié)構(gòu)，以使其在固定前徑向位置可調(diào)。