[發明專利]光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置

有效

• 申請號: 201310322690.8
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN103399387A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 彭海峰;鞏巖;何欣;陳華男;李顯凌;倪明陽
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置，包括光學元件（1）、多個氣囊（2）、底座（3）、充氣管（4）和轉接頭（5）；其特征是，光學元件（1）放置于多個氣囊（2）上；所述的多個氣囊（2）在底座（3）上面沿圓周均勻分布設置；氣囊（2）通過轉接頭（5）與充氣管（4）相連接。

2.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置，其特征在于，氣囊（2）包括氣袋（2-1），底部兩側設置螺紋間隙孔（2-2），底部設置進氣孔（2-3）；底座（3）包括長孔（3-1）、螺釘孔（3-2）、減重孔（3-3）和凹槽（3-4）；氣囊（2）的進氣孔（2-3）伸入底座（3）的長孔（3-1）內；所述的氣囊（2）底部的螺紋間隙孔（2-2）與底座（3）上的螺釘孔（3-2）通過螺釘（6）相連接；減重孔（3-3）設置在底座（3）中心圓形區域；凹槽（3-4）與充氣管（4）配合。

3.根據權利要求2所述的光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置，其特征在于，所述氣袋（2-1）上面邊緣為圓角（2-4）。

4.根據權利要求2所述的光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置，其特征在于，底座（3）的兩側設置把手（3-5）。

5.根據權利要求2所述的光刻投影物鏡系統中光學元件多氣囊支撐裝置，其特征在于，氣囊（2）底部的螺紋間隙孔（2-2）處設計成長孔。