[發明專利]多晶硅錠的制備方法無效
| 申請號： | 201310320649.7 | 申請日： | 2013-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN103397378A | 公開（公告）日： | 2013-11-20 |
| 發明（設計）人： | 曾磊;李松松;張澎偉;閆英永 | 申請（專利權）人： | 山東大海新能源發展有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 257300 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅錠的制備方法，其特征在于:由以下步驟：
（一）、在坩堝內壁噴涂Si3N4；
（二）、在坩堝底部均勻鋪設2-3碎片硅料；
（三）、按比例在碎片料上均勻裝填還原多晶硅塊料和循環料；
（四）、在裝料結束后，將坩堝裝入鑄錠爐中，抽真空，真空度達到要求后檢漏，檢漏通過后進入鑄錠程序；
（五）、鑄錠爐加熱裝有硅料的坩堝，使硅料逐漸熔化，當硅料熔化至坩堝底部碎片料區域時，停止加熱；
（六）、控制熱場，使硅熔體從硅片區域開始形核結晶；
（七）、長晶結束后，退火冷卻，得到多晶硅錠。
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