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[發明專利]多晶硅錠的制備方法無效

專利信息
申請號: 201310320649.7 申請日: 2013-07-29
公開(公告)號: CN103397378A 公開(公告)日: 2013-11-20
發明(設計)人: 曾磊;李松松;張澎偉;閆英永 申請(專利權)人: 山東大海新能源發展有限公司
主分類號: C30B28/06 分類號: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 257300 山東省*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種多晶硅錠的制備方法,其特征在于:由以下步驟:

(一)、在坩堝內壁噴涂Si3N4

(二)、在坩堝底部均勻鋪設2-3碎片硅料;

(三)、按比例在碎片料上均勻裝填還原多晶硅塊料和循環料;

(四)、在裝料結束后,將坩堝裝入鑄錠爐中,抽真空,真空度達到要求后檢漏,檢漏通過后進入鑄錠程序;

(五)、鑄錠爐加熱裝有硅料的坩堝,使硅料逐漸熔化,當硅料熔化至坩堝底部碎片料區域時,停止加熱;

(六)、控制熱場,使硅熔體從硅片區域開始形核結晶;

(七)、長晶結束后,退火冷卻,得到多晶硅錠。

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