[發(fā)明專利]一種極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310319441.3
• 申請(qǐng)日: 2013-07-26
• 公開（公告）號(hào): CN103364401A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳進(jìn)新;吳曉斌;謝婉露;張羅莎;羅艷;王魁波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電研究院
• 主分類號(hào): G01N21/84
• 分類號(hào): G01N21/84
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，包括EUV光源室(1)、濾波片室(2)、收集鏡室(3)、光譜檢測(cè)室(4)和樣品室(6)，其中

所述EUV光源室(1)用于容納EUV光源(11)，該EUV光源(11)用于輻射出寬譜近軟X射線；

所述濾波片室(2)用于放置濾波片，該濾波片用于將所述寬譜近軟X射線濾波成窄譜EUV輻照；

所述收集鏡室(3)用于放置收集鏡(31)，該收集鏡(31)用于將所述EUV輻照匯聚到所述樣品室(6)中；

所述光譜檢測(cè)室(4)用于安裝一個(gè)反射鏡(41)和一個(gè)光譜儀(42)，所述反射鏡(41)用于將來自收集鏡室(3)的EUV輻照反射到所述光譜儀(42)；

所述樣品室(6)用于容納所要測(cè)試的樣品(S)、CCD(616)和能量計(jì)(617)，并且能夠使樣品(S)、CCD(616)和能量計(jì)(617)輪流移動(dòng)至能夠接受EUV輻照的同一位置。

2.如權(quán)利要求1所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：還包括轉(zhuǎn)接室(5)，其用于連接所述光譜檢測(cè)室(4)和所述樣品室(6)，并且把來自所述光譜檢測(cè)室(4)的EUV輻照引入所述樣品室(6)中。

3.如權(quán)利要求2所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接室(6)中安裝有真空快門，以控制所述EUV輻照在樣品(S)上的輻照次數(shù)和輻照時(shí)間。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述濾波片室(2)放置在所述收集鏡室(3)之前或之后。

5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述光譜檢測(cè)室(4)中還安裝有一維平移臺(tái)(44)和一個(gè)支架(43)，該支架(43)安裝于該一維平移臺(tái)(44)上，所述反射鏡(41)安裝于該支架(43)上。

6.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：該極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)的能量的計(jì)算過程為：

P_s＝P×(1-cosθ)×T_zr×R_m，

其中，P_s為輻照到所述樣品(S)表面的能量，P為所述EUV光源在2π立體角內(nèi)的功率，θ為所述收集鏡(31)的收集半角，T_zr為所述濾波片的透過率，R_m為所述收集鏡(31)的反射率。

7.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述樣品室(6)中具有一個(gè)三維平移臺(tái)(61)，其用于安裝所述樣品(S)、CCD(616)和能量計(jì)(617)。

8.如權(quán)利要求7所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述三維平移臺(tái)(61)由三個(gè)一維平移臺(tái)通過支架組合連接而成。

9.如權(quán)利要求8所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述三維平移臺(tái)(61)包括X軸平移臺(tái)(611)、Y軸平移臺(tái)(612)、Z軸平移臺(tái)(613)、X-Z軸支架(614)和樣品臺(tái)支架(615)，其中

所述X軸平移臺(tái)(611)安裝在所述Y軸平移臺(tái)(612)的螺母上，該X軸平移臺(tái)的螺母上安裝所述X-Z軸支架(614)，該X-Z軸支架(614)上安裝所述Z軸平移臺(tái)(613)，該Z軸平移臺(tái)(613)的螺母上安裝有所述樣品臺(tái)支架(615)，該樣品臺(tái)支架(615)上分別固定所述樣品(S)、CCD(616)和能量計(jì)(617)。

10.如權(quán)利要求9所述的極紫外輻照材料測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述CCD(616)、能量計(jì)(617)的探測(cè)器的敏感平面和所述樣品(S)的測(cè)試表面保持在一個(gè)平面上，且該平面與來流EUV輻照的主光軸垂直。