[發(fā)明專利]檢測件和晶圓有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310315240.6 | 申請日： | 2013-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN103400824A | 公開（公告）日： | 2013-11-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 胡勇;于濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢測 | ||
1.一種檢測件，設(shè)置于包括器件區(qū)和檢測區(qū)的晶圓上，所述器件區(qū)用于形成半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體器件包括位于襯底上的第一柵極和第二柵極；所述檢測件位于所述檢測區(qū)，用于對所述半導(dǎo)體器件進行檢測，其特征在于，包括：
檢測有源區(qū)，所述檢測有源區(qū)與所述半導(dǎo)體器件相對應(yīng)；
第一檢測柵極，位于所述檢測有源區(qū)上，與所述第一柵極相對應(yīng)；
第二檢測柵極，位于所述檢測有源區(qū)上，與所述第二柵極相對應(yīng)；
第一檢測連接線，與所述第一檢測柵極相連；
第二檢測連接線，與所述第二檢測柵極相連。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測件，其特征在于，所述半導(dǎo)體器件為電可擦可編程只讀存儲器，所述檢測件用于對所述電可擦可編程只讀存儲器進行檢測。
3.如權(quán)利要求2所述的檢測件，其特征在于，所述檢測區(qū)包括陣列排布的檢測有源區(qū)。
4.如權(quán)利要求3所述的檢測件，其特征在于，所述檢測有源區(qū)的尺寸在0.6μm×0.6μm～1.5μm×1.5μm的范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求3所述的檢測件，其特征在于，第一檢測柵極和第二檢測柵極平行設(shè)置，設(shè)置于位于同一列的所述檢測有源區(qū)上。
6.如權(quán)利要求5所述的檢測件，其特征在于，所述第一檢測柵極和第二檢測柵極的寬度在0.11μm～0.15μm的范圍內(nèi)。
7.如權(quán)利要求5所述的檢測件，其特征在于，所述第一檢測柵極和第二檢測柵極之間的距離小于所述第一柵極和第二柵極之間的距離。
8.如權(quán)利要求5所述的檢測件，其特征在于，所述第一檢測柵極和第二檢測柵極之間的距離在0.16μm～0.18μm的范圍內(nèi)。
9.如權(quán)利要求5所述的檢測件，其特征在于，所述第一檢測連接線與設(shè)置于各列檢測有源區(qū)上的第一檢測柵極均相連，所述第二檢測連接線與設(shè)置于各列檢測有源區(qū)上的第二檢測柵極均相連。
10.一種晶圓，包括如權(quán)利要求1～9任一權(quán)利要求所述檢測件。
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