[發(fā)明專利]固體攝像裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310313949.2
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN104078473A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 瀨田涉二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H01L23/552
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 戚宏梅;楊謙

1.一種固體攝像裝置，其特征在于，具備：

半導(dǎo)體基板；

晶體管，形成在所述半導(dǎo)體基板上；

第一層間絕緣膜，形成在所述半導(dǎo)體基板上；

第一多層布線層，形成在所述第一層間絕緣膜內(nèi)，由多個布線層及對所述多個布線層間進(jìn)行連接的布線通孔構(gòu)成；

第一屏蔽層，形成在所述第一層間絕緣膜內(nèi)且相鄰的所述布線層之間；

第二屏蔽層，形成在所述第一層間絕緣膜內(nèi)且相鄰的所述布線通孔之間；

第二層間絕緣膜，形成在所述第一層間絕緣膜上；

第二多層布線層，形成在所述第二層間絕緣膜內(nèi)；

半導(dǎo)體層，形成在所述第二層間絕緣膜上；

攝像元件，形成在所述半導(dǎo)體層內(nèi)且所述第二層間絕緣膜的界面；以及

濾色片，形成在所述半導(dǎo)體層上。

2.一種固體攝像裝置，其特征在于，具備：

半導(dǎo)體基板；

晶體管，形成在所述半導(dǎo)體基板上；

第一層間絕緣膜，形成在所述半導(dǎo)體基板上；

第一多層布線層，形成在所述第一層間絕緣膜內(nèi)；

屏蔽層，形成在所述第一層間絕緣膜內(nèi)；

第二層間絕緣膜，形成在所述第一層間絕緣膜上；

第二多層布線層，形成在所述第二層間絕緣膜內(nèi)；

半導(dǎo)體層，形成在所述第二層間絕緣膜上；

攝像元件，形成在所述半導(dǎo)體層內(nèi)且所述第二層間絕緣膜的界面；以及

濾色片，形成在所述半導(dǎo)體層上。

3.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，

所述第一多層布線層由多個布線層及對所述多個布線層進(jìn)行連接的布線通孔構(gòu)成，

所述屏蔽層形成在相鄰的所述布線層之間。

4.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，

所述第一多層布線層由多個布線層及對所述多個布線層進(jìn)行連接的布線通孔構(gòu)成，

所述屏蔽層形成在相鄰的所述布線通孔之間。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的固體攝像裝置，其特征在于，

該固體攝像裝置還具備：

圖像信號處理器，形成于所述半導(dǎo)體基板；

所述屏蔽層配置在所述攝像元件與所述圖像信號處理器之間。

6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的固體攝像裝置，其特征在于，

該固體攝像裝置還具備：

貫通電極，形成在所述半導(dǎo)體層及所述第二層間絕緣膜內(nèi)，與所述第一多層布線層電連接。

7.如權(quán)利要求5所述的固體攝像裝置，其特征在于，

該固體攝像裝置還具備：

貫通電極，形成在所述半導(dǎo)體層及所述第二層間絕緣膜內(nèi)，與所述第一多層布線層電連接。