[發(fā)明專利]一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310312585.6
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN103363808A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹文;朱廷剛;朱廷勇
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇能華微電子科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);汪青

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的擴(kuò)散爐的密封性比較差，在需要通入有毒害的氣體時，很難達(dá)到漏率要求。基于對MOCVD（金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀）的石墨盤進(jìn)行清理，大多設(shè)備都是價格高，不經(jīng)濟(jì)，清洗效果不佳，清理成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，適用于對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行擴(kuò)散，氧化，退火，合金及燒結(jié)等工藝的擴(kuò)散爐。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，包括爐門、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套設(shè)在所述的管件上，所述的第二水套連接在所述的管件的端部并與所述的第一水套相連接，所述的爐門連接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈設(shè)置在所述的第一水套、第二水套之間，所述的第二密封圈設(shè)置在所述的第二水套與管件的端部之間，所述的第三密封圈設(shè)置在所述的第二水套與爐門之間。

優(yōu)選地，所述的第二水套與第一水套連接一側(cè)內(nèi)圈的端部具有向外側(cè)傾斜的錐面，所述的第一密封圈設(shè)置在所述的第二水套傾斜的錐面與所述的第一水套之間。

優(yōu)選地，所述的爐門上設(shè)置有爐門冷卻水管，所述的爐門冷卻水管具有爐門冷卻水入口、爐門冷卻水出口。

優(yōu)選地，所述的第一水套上設(shè)置有第一水套冷卻水管，所述的第一水套冷卻水管具有第一水套冷卻水入口、第一水套冷卻水出口。

優(yōu)選地，所述的第二水套上設(shè)置有第二水套冷卻水管，所述的第二水套冷卻水管具有第二水套冷卻水入口、第二水套冷卻水出口。

優(yōu)選地，所述的第二水套上開設(shè)有氣體入口、氣體出口，所述的氣體出口連接有石英氣管，所述的石英氣管能夠伸入至所述的管件的尾端。

優(yōu)選地，所述的第一密封圈、第三密封圈為O型密封圈；所述的第二密封圈為四氟密封圈。

優(yōu)選地，所述的爐門為不銹鋼爐門；所述的第一水套、第二水套均為不銹鋼水套。

優(yōu)選地，所述的管件為石英管。

優(yōu)選地，所述的第一水套、第二水套之間通過法蘭相連接。

由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明通過在爐門與管件之間增設(shè)不銹鋼水套、密封件，將爐門與管件之間進(jìn)行密封，同時用冷卻水在不銹鋼水套里進(jìn)行冷卻保證了密封件不被高溫融化而失去密封性，解決了閉管擴(kuò)散要求，使得擴(kuò)散爐漏率能達(dá)到1X10-7Pa·m3/s，大大提高了密封性的同時避免了有毒氣體的泄露污染環(huán)境危害操作人員。

附圖說明

附圖1為本發(fā)明的拆分示意圖；

附圖2為本發(fā)明的剖視示意圖；

附圖3為附圖2中A部放大圖。

其中：1、爐門；10、爐門冷卻水管；100、爐門冷卻水入口；101、爐門冷卻水出口；2、管件；3、第一水套；30、第一水套冷卻水管；300、第一水套冷卻水入口；301、第一水套冷卻水出口；4、第二水套；40、第二水套冷卻水管；400、第二水套冷卻水入口；401、第二水套冷卻水出口；410、氣體入口；411、氣體出口；412、石英氣管；42、錐面；50、第一密封圈；51、第二密封圈；52、第三密封圈；6、加熱段。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述：

如圖1所示的一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，包括爐門1、管件2、第一水套3、第二水套4以及密封件。以下對各個部件做詳細(xì)介紹：

爐門1采用不銹鋼爐門，在爐門1上設(shè)置有爐門冷卻水管10，爐門冷卻水管10具有爐門冷卻水入口100、爐門冷卻水出口101。管件2為石英管。

第一水套3采用不銹鋼水套，第一水套3上設(shè)置有第一水套冷卻水管30，第一水套冷卻水管30具有第一水套冷卻水入口300、第一水套冷卻水出口301。