[發明專利]一種擴散爐的爐門密封裝置

有效

• 申請號: 201310312585.6
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN103363808A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 曹文;朱廷剛;朱廷勇
• 申請（專利權）人: 江蘇能華微電子科技發展有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛;汪青

1.一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：包括爐門、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套設在所述的管件上，所述的第二水套連接在所述的管件的端部并與所述的第一水套相連接，所述的爐門連接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈設置在所述的第一水套、第二水套之間，所述的第二密封圈設置在所述的第二水套與管件的端部之間，所述的第三密封圈設置在所述的第二水套與爐門之間。

2.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第二水套與第一水套連接一側內圈的端部具有向外側傾斜的錐面，所述的第一密封圈設置在所述的第二水套傾斜的錐面與所述的第一水套之間。

3.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的爐門上設置有爐門冷卻水管，所述的爐門冷卻水管具有爐門冷卻水入口、爐門冷卻水出口。

4.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第一水套上設置有第一水套冷卻水管，所述的第一水套冷卻水管具有第一水套冷卻水入口、第一水套冷卻水出口。

5.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第二水套上設置有第二水套冷卻水管，所述的第二水套冷卻水管具有第二水套冷卻水入口、第二水套冷卻水出口。

6.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第二水套上開設有氣體入口、氣體出口，所述的氣體出口連接有石英氣管，所述的石英氣管能夠伸入至所述的管件的尾端。

7.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第一密封圈、第三密封圈為O型密封圈；所述的第二密封圈為四氟密封圈。

8.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的爐門為不銹鋼爐門；所述的第一水套、第二水套均為不銹鋼水套。

9.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的管件為石英管。

10.根據權利要求1所述的一種擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述的第一水套、第二水套之間通過法蘭相連接。