[發明專利]多晶硅生產中尾氣分離工藝

無效

• 申請號: 201310305011.6
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN103342341A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 張偉;陳喜清;黃彬;陳朝霞
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B3/50
• 分類號: C01B3/50;C01B7/07;C01B33/107
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

1.多晶硅生產中尾氣分離工藝，尾氣含有氫氣、三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫，其特征為尾氣分離工藝包括步驟：

1）尾氣進行冷卻，將氯硅烷與不凝性氣體氫氣、氯化氫微量氯硅烷氣體進行分離，冷凝的氯硅烷送入原料罐區進行回收分離；

2）不凝性氣體氫氣、氯化氫及微量氯硅烷氣體經過壓縮進行升壓操作，壓力大于氫氣反應器壓力；

3）不凝性氣體氫氣、氯化氫及微量氯硅烷氣體經過一級吸附分離，得到含有純度為99.9%～99.999999%的氫氣，同時產生含有純度為98.5%的氯化氫的解析氣1，解析氣1進入氯化氫回收裝置進行反應消耗；

4）經過一級吸附分離后的99.9%～99.999999%氫氣再送入二級吸附分離，去除氫氣中的痕量雜質，得到產品產品純度99.999999%～99.99999999%氫氣；同時產生含有痕量雜質的解析氣2，解析氣2進入氫氣回收裝置進行反應消耗；

5）二級吸附分離的產品氫氣送入產品氫儲罐，最終供氫氣反應器使用；

6）氫氣反應器中不完全反應的氣體再進行冷卻分離，進行循環利用。

2.根據權力要求1所述的多晶硅生產中尾氣分離工藝，其特征為在氫氣反應器中，不凝性氣體經過壓縮進行升壓操作，優選的氫氣反應器壓力為0.1-1.0?MpaG。